压电驱动纳米操作器 北京微纳光科仪器供应

压电纳米位移平台同压电微扫平台一样，采用压电陶瓷叠堆直推技术，压电陶瓷叠堆执行器虽然可以有体积紧凑、重量轻集成度高的特点，但是输出位移小。采用位移放大机构实现压电陶瓷叠堆执行器输出位移的放大。压电纳米定位台的工作原理纳米位移台主要采用超精密运动控制技术超精密技术是由光、机、电、控制软件等多领域技术集成的运动控制技术。内部由一个或多个压电陶瓷作为驱动，其产生单轴或者多轴的运动;通过柔性铰链技术将压电陶瓷产生的运动传递和放大;经超精密电容传感器将运动信息传递给控制系统，再由控制系统对该运动进行修正、补偿和控制;在对运动系统进行闭环控制时，可实现纳米、亚纳米级别的运动分辨率和运动控制精度。 北京微纳光科仪器(集团)有限公司主要提供《微》《纳》《光》《科》四个版块产品。压电驱动纳米操作器

压电纳米定位台在精密定位领域中发挥着至关重要的作用，可集成于各类高精密装备，为其提供纳米级运动控制，且应用非常广，例如显微扫描、光路调整、纳米操控技术、激光干涉、纳米光刻、生物科技、光通信、纳米测量、显微操作、纳米压印等。随着科技不断进步，精密定位技术对于定位系统的行程、负载、精度要求也不断攀升。压电纳米定位台提高数据存储密度及可靠性此外，压电纳米定位台还可以在非易失性存储器件中提高数据存储的密度和可靠性。在固态硬盘和闪存存储器件中，压电纳米定位台可以控制存储单元的精确位置，大幅度提高存储单元的密度，同时减少了数据存储的错误率。 压电陶瓷和纳米技术的应用范例压电纳米定位台的工作原理及典型应用。

压电纳米位移台的命名是由三部分组成：“压电”指执行器种类，是以PZT压电陶瓷叠堆作为驱动源；“纳米”指精度等级，移动端面在PZT压电陶瓷的驱动下，可以实现纳米级精度的步进或连续运动；“位移系统”指运动方式，其实现的是X、Y、Z向一维或多维的平移运动。压电纳米位移系统是将PZT压电陶瓷与柔性铰链结构、金属壳体结构相结合，并配备有机械固定安装接口与负载安装接口。压电纳米位移系统可直接带动负载进行微位移调节，其运动面有螺纹孔用于安装固定负载。此外，压电纳米位移系统可集成于各类高精密装备，为其提供纳米级运动控制、光路控制等。

多轴集成一体结构，使串扰减小。纳动纳米-本系列多数产品X、XY和XYZ采用集成并联结构设计，可以抑制两个或多个单轴堆叠组合时容易出现的非正交性。此外，每个轴的传感器被固定到相同的基准，并且不断地监测和校正移动台偏离每个正交轴的运动。复合轴类型的XY和XYZ轴位移台的压电陶瓷元件布置在两侧并具有对称的开口。换句话说，其中一个轴由两个左右压电陶瓷元件支撑和驱动的结构（并联结构），即使同时驱动两个和三个轴也可以获得稳定的操作。 纳米定位平台国家标准规范？

材料的可加工性是纳米精度机构设计的另一个限制。首先，所选材料必须可加工成所需的几何形状。例如，我们的大多数挠性运动台都是通过电火花加工来切割的。玻璃陶瓷尽管它们具有许多良好的性能但显然不能用这种加工方式。另一方面，加工成本在产品价格中占主导地位，因为纳米精度机构中的大部分组件尺寸都比较小，因此材料成本的影响并不显着。材料的机械加工性取决于材料的强度、硬度、韧性和导热性等特性。

铝合金是工程结构中常用的材料之一。精密仪器主要利用其导热性好、易于制造（加工成本低）和质量轻的特性。由于其高热膨胀系数，必须小心使用。通常选择这种材料进行热匹配。 中空式压电纳米定位台在其台面的中心区域具有通孔。压电陶瓷和纳米技术的应用范例

纳米位移系统只有经过有效校准，才能成为真正的高精度定位系统。压电驱动纳米操作器

由压电陶瓷控制器控制的压电纳米定位台用于移动3D干涉仪系统中的干涉物镜或光纤连接器以产生位相移动，分5步位相移动，每移动一步后由CCD摄像头读取干涉条纹。压电纳米定位台内部采用无摩擦柔性铰链导向机构，一体化的结构设计。机构放大式驱动原理，内置高性能压电陶瓷，可实现纳米级位移。具有高刚性、高负载、无摩擦等特点，可适应匹配光纤端面检测的需求。压电纳米定位台内部采用无摩擦柔性铰链导向机构，一体化的结构设计。机构放大式驱动原理，内置高性能压电陶瓷，可实现纳米级位移。具有高刚性、高负载、无摩擦等特点。此外，压电纳米定位台还可用于：光路调整；纳米操控技术；纳米光刻，生物科技；激光干涉；CCD图像处理；纳米测量、显微操作；纳米压印、纳米定位；显微成像、共焦显微。 压电驱动纳米操作器

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