干涉物镜就是将显微镜物镜与干涉仪结合起来设计而成的一种特殊的显微镜物镜。它的原理是一束光通过分光镜后,将光直接射向样品表面和内置反光镜,从样品表面反射的光线和内置反射镜反射的光线再结合,就产生了干涉图案。干涉物镜可用在非接触光学压型测量设备上,通过此物镜可得到表面位图和表面测量参数等,也可用来检测表面粗糙度,测量精度非常高,在一个波长之内。在系统工作时,通过纳米移动台驱动待测样本表面在垂直方向上均匀、缓慢、连续运动,改变测量光路与参考光路的光程差。垂直扫描的过程中,相机依次获取一系列的白光干涉图,通过三维形貌恢复算法计算并定位出每个像素点的零光程差位置,即可得到相应的高度信息,从而恢复出待测表面的三维形貌。 可根据需求提供或定制微米领域的电动手动移动台。纳米位移光学角位调整装置
十年来,我国自主研发的北斗芯片工艺从90nm到28nm,尺寸不断缩小,性能不断提升,并具备在全球范围展开竞争的实力和底气。在刚刚举办的第十届中国卫星导航年会宣布,我国正在研发北斗22纳米高精度、低功耗定位芯片。结合北斗三号全球系统的建成,该22纳米工艺北斗定位芯片,将使得我国北斗能够切入到无人机、自动驾驶、机器人、物联网等热门应用领域;并助力北斗在全球范围内提供更好的服务。
据悉,该芯片由国内创新卫星导航企业、北斗上市企业北斗星通旗下的芯片公司和芯星通研发。 纳米力传感电磁角度调整微动控制装置纳米定位平台直驱的好处?
压电纳米位移台的结构压电纳米定位台具有移动面,是通过带有柔性铰链的机械结构将压电陶瓷产生的位移及出力等进行输出,分直驱与放大两种结构。以压电陶瓷作为驱动源,结合柔性铰链机构实现X轴、Z轴、XY轴、XZ轴、XYZ轴精密运动的压电平台,驱动形式包含压电陶瓷直驱机构式、放大机构式。具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点,配置高精度传感器,可实现纳米级分辨率及定位精度且具有较高的可靠性,在精密定位领域中发挥着主要作用。
温度的变化会对压电纳米定位台的性能产生很大的影响,像静电容量的参数值会随着温度的升高而增加,过高的温度会降低其性能以及使用寿命。同样,压电纳米定位台的静电容量也会随着温度的降低而降低,从而它的位移参数也会相应降低,出力也随之降低。但由于低温环境下,压电纳米定位台的驱动源PZT压电陶瓷材料抵抗退极化的能力急剧增加,在低温环境下,可以双极性驱动压电纳米定位台,以获得更大的位移。低温压电纳米定位台具有非常广泛的应用,在基于金刚石NV色心量子传感器对微观尺度的磁场或电场物理量的测量,其中镜头移动或样品移动;在量子信息及精密探测等实验中,对金刚石NV色心的精确定位;探测样品在低温、强磁场环境下的荧光以及一些其他量子特性,对量子点等量子材料进行精确扫描;微纳光学腔的耦合调节;超导磁体内真空低温环境下的精确定位;F-P微腔调节,例如利用光学手段在低温固体中寻找单个自旋;完成低温环境下稳定的位移控制,从而实现稳定的低温量子体系,用于量子通信、量子计算、量子存储器等;光学谐振腔或光学干涉仪的相位锁定等。 纳米定位平台的工作原理图讲解。
一般来说,机械设计可以在很大程度上满足刚度和强度的需求,前提是不限制尺寸空间。因此对于精密仪器的设计,杨氏模量和屈服强度的值不如热性能重要。然而,为了减少环境的影响,许多精密设备被刻意设计得很小。然后必须仔细考虑材料的力学性能。例如,材料的强度可能会限制柔性机构最大行程;低杨氏模量材料可能无法为纳米精度机械装置或其框架提供足够的刚度;硬度可能会影响机构与其致动器之间的接触刚度,这对机械系统的共振频率有直接影响。此外,材料的质量会对纳米精度机构的动态特性产生很大影响。 压电纳米定位台是将PZT压电陶瓷与柔性铰链结构、金属壳体结构相结合。纳米位移控制解决方案
六自由度压电纳米定位台可产生X、Y、Z三轴直线运动以及θx、θy、θz 三轴偏转/旋转角度运动的压电平台。纳米位移光学角位调整装置
压电位移台在光纤端面检测方面的应用:近年来,由于光通信技术飞速发展,光纤连接器作为光通信基本的光源器件,所以对其质量及可靠性有了更严格的要求。为了提高光纤连接及光信号传输的效率,因此光纤端面的检测至关重要。为得到光纤端面的三维参数,通常根据光学干涉来进行测量。其中由压电陶瓷控制器控制的压电纳米定位台用于移动3D干涉仪系统中的干涉物镜或光纤连接器以产生位相移动,分5步位相移动,每移动一步后由CCD摄像头读取干涉条纹。 纳米位移光学角位调整装置
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