检漏仪的整体结构:一、质谱室,形象的说,质谱室是检漏仪的心脏,由离子源、分析器和电气系统三个部分组成,并将冷阴极磁控规也放在其内,共用其磁场。为了有利于微小的粒子流放大,将一级放大用高阻及静电计管也放在质谱室之内。质谱室壳由非磁性材料制成,内部抽空,而外部设置成磁铁形成磁分析器的磁场。二、真空系统,真空系统是提供质谱室正常工作的条件。由于钨阴极正常工作时需要具备0.001-0.01Pa的真空度,同时保证氦离子在分析器中的运动有较高的传输率,因此建立一个高真空系统是必要的。系统中的节能阀则是为了满足质谱室工作压力的调节,南通分体式检漏设备,该阀全开时检漏灵敏度较高,南通分体式检漏设备,南通分体式检漏设备,因此在条件允许情况下开启大些为宜。检漏时为了校准检漏灵敏度,系统中设置了标准漏孔。检漏仪的噪声主要来源于电路噪声和本底噪声。南通分体式检漏设备
检漏仪检漏时出现的故障:1、不向细检方式转换,检漏口压力<2×10-4MPa:检查粗检指示灯是否亮,如果亮,说明检漏仪置于粗检方式。再按一下粗检开关切换到自动转换状态。2、灵敏度低。检查三极规所测压力,等到质谱室压力<10-6MPa时再检漏;如果压力达到,检查离子源是否被污染,清洗离子源。3、氦本底太高。检查机械泵油是否失效(泵油长期使用变质会吸附较多的氦气,导致氦污染),检查仪器系统是否有漏,真空管路是否污染,检查三极规上压力是否达到10-6MPa,离子源是否污染。另外还要注意环境的污染问题,如果有多台检漏仪,且氦气的使用量较大,通风不好时,致使氦气扩散慢,也会导致氦污染。解决办法是在检漏口的放气阀放气口(通常通大气)处,安装一个几升容量的气瓶,该气瓶与低压氦气管路连接。这样,就大幅减少了环境的氦污染。芜湖真空衰减法检漏设备氦质谱检漏仪由离子源、分析仪、收集器、冷阴极电离计、气体萃取系统和电气部分组成。
检漏仪检漏方法分为两大类:被检件承受负(外)压,即抽成真空的叫真空检漏;被检件承受正(内)压的叫正压检漏,也有人叫充压检漏。正压检漏一般有三种方法:1)吸口法:用吸口直接在漏孔出口处获得示漏气体,与正压校准漏孔作比对定量。这种方法适于漏孔处于吸口可及位置的产品作正压检漏。2)气罩积分法:把被检件或被检部位置于气罩内,罩内为大气压。示漏气体漏人罩内,随时间积分,再用吸口取样,输入检漏仪检测,与正压校准漏孔比对定量。3)加压真空法:产品充正压后,置于真空室内,或将漏气局部置于真空罩内,检漏仪与真空室(罩)相联,与真空校准漏孔作比对定量。
检漏仪的整体结构有哪些?电气系统,氦质谱仪电气部分的重点是质谱室的供电和测量,其他部分包括真空系统的电源与控制部分,操纵面板及输出仪表等。主要含有小电流放大器及输出装置、低频发生器、高压整流器及发射电流稳定装置、高压整流器供给冷阴极磁控规电源。辅助真空系统的配置,在氦质谱仪检漏技术中,根据被检件的结构,尺寸要求和具体的检漏条件,设置具有预抽被检件、保证检漏仪工作真空度、进行的气体分流、缩短反应时间和清理时间、降低对灵敏度的不良影响等功能的辅助真空系统,在某些条件下是非常必要的。造成检漏仪灯丝脆断的原因是真空度低或者灯丝电流过大。
检漏仪质谱室故障及处理:1、灯丝无法正常启动,在确认机械泵、分子泵处于正常工作状态后,若灯丝仍无法发射离子流,则需要更换离子源。若灯丝指示灯闪烁,检查离子源航空插座与接线柱是否开路,若开路,需要更换灯丝,若不开路,检查其接线柱与其他接头是否导通,消除短路现象。2、本底信号处于杂乱无章的波动状态且大小远远超过检漏仪故障自身的本底噪声,需要考虑放大器是否故障。质谱室出现故障一般用户无法解决,只需对故障进行定位,交由维修处理。检漏仪检测开始时出现的故障:1、检漏键无效(绿色指示灯亮),检查灯丝是否启动。如果灯丝没有启动或者灯丝断,按检漏键将没有反应。2、检漏键无效(指示灯不亮),I/O短接插头未插入检漏仪故障后面插座。如果I/O短接插头未插入仪器后面插座,这时检漏仪将接受I/O口输入信号,而不接受遥控器信号,检漏键无效。使用氦质谱检漏仪常用的方法大体可分为三种,即喷氦法(负压法),正压法,氦罩法。芜湖真空衰减法检漏设备
拆卸氦质谱检漏仪部件后,安装时要避免安装处出现泄漏。南通分体式检漏设备
检漏仪检漏法是利用氦分压力测量原理,实现被检件的氦泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时,示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出,泄漏出来的气体进入后,由于选择性识别能力,只给出气体中的氦气分压力信号值。在获得氦气信号值的基础上,通过标准漏孔比对的方法就可以获得漏孔对氦泄漏量。采用真空法检漏时,需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空,采用氦罩或喷吹的方法在被检产品外表面施氦气,当被检产品表面有漏孔时,氦气就会通过漏孔进入被检产品内部,再进入检漏仪,从而实现被检产品泄漏量测量。按照施漏气体方法的不同,又可以将真空法分为真空喷吹法和真空氦罩法。南通分体式检漏设备
上海妤林真空设备技术有限公司是以提供氦气检漏仪,氦气回收系统,检漏仪,氦检仪内的多项综合服务,为消费者多方位提供氦气检漏仪,氦气回收系统,检漏仪,氦检仪,公司成立于2020-06-11,旗下妤林,已经具有一定的业内水平。公司承担并建设完成仪器仪表多项重点项目,取得了明显的社会和经济效益。产品已销往多个国家和地区,被国内外众多企业和客户所认可。
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