检漏仪检漏方法分为两大类:被检件承受负(外)压,即抽成真空的叫真空检漏;被检件承受正(内)压的叫正压检漏,也有人叫充压检漏,湖州密封性检漏设备。正压检漏一般有三种方法:1)吸口法:用吸口直接在漏孔出口处获得示漏气体,与正压校准漏孔作比对定量,湖州密封性检漏设备。这种方法适于漏孔处于吸口可及位置的产品作正压检漏。2)气罩积分法:把被检件或被检部位置于气罩内,罩内为大气压。示漏气体漏人罩内,随时间积分,再用吸口取样,输入检漏仪检测,与正压校准漏孔比对定量。3)加压真空法:产品充正压后,置于真空室内,或将漏气局部置于真空罩内,检漏仪与真空室(罩)相联,湖州密封性检漏设备,与真空校准漏孔作比对定量。检漏仪在使用前需要采用标准氦校准漏孔进行校准,该标准漏孔必须经过计量校准过的。湖州密封性检漏设备
检漏仪检漏法是利用氦分压力测量原理,实现被检件的氦泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时,示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出,泄漏出来的气体进入后,由于选择性识别能力,只给出气体中的氦气分压力信号值。在获得氦气信号值的基础上,通过标准漏孔比对的方法就可以获得漏孔对氦泄漏量。采用真空法检漏时,需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空,采用氦罩或喷吹的方法在被检产品外表面施氦气,当被检产品表面有漏孔时,氦气就会通过漏孔进入被检产品内部,再进入检漏仪,从而实现被检产品泄漏量测量。按照施漏气体方法的不同,又可以将真空法分为真空喷吹法和真空氦罩法。江苏真空氦气检漏仪价钱在坚固耐用方面的革新设计,使得全自动氦质谱检漏仪能适应各种恶劣的工业环境。
检漏仪真空度不能提高的几个潜在原因:检漏仪的真空度抽不上去,首先确定是不是真的真空抽不上去,因为也有可能是真空计指示不对。真空计故障,如冷规的阳极和阴极短路,就会造成真空抽不上去的假象。这种情况,只要更换一个新的真空计,即可使检漏仪恢复正常工作。检漏仪的真空系统某部分出现了漏气。检漏仪自身产生漏气的情况大多是由于仪器在进行大拆卸情况下重新安装后,某个连接处没有拧紧而产生。如果是这种情况,较好是用分段查找的办法,将整个真空系统分隔成几段,一段一段地查找。先查机械真空泵有没有问题,再查机械泵到扩散泵或分子泵之间,较后再查扩散泵(或分子泵)以上部分。如果漏隙小,仪器还能基本工作的话,可以用仪器自身检查自身。
检漏仪的基本原理与结构:检漏仪一般由质谱管,真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源,质量分析器和离子检测器; 真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并聚焦成束,以一定能量注入分析器,目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。离子检测器的作用是手机质量分析器所选定的氦离子流并加以放大,再通过比对运算,得出泄漏率,真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空,同时完成被检件的抽空和氦气的引入。真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构,检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。常规系统多用于早期的检漏仪,该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通,由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到,因而具有较高的灵敏度,但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比,被检件只与低真空相通,因此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏,氦气是逆扩散到质谱管,不会对系统有污染,因此被普遍采用,已成为市场的主流产品。氦质谱检漏仪如何选择检漏方式,与检测对象的工作环境有很大关系。
检漏仪启动流程:1、将总电源转到“前级泵”,低真空表头指示值应从左向右逐渐上升至2~15Pa,开抽速阀,开漏孔开关,表头示值也应能抽到原来位置,再关抽速阀。2、将总电源转到“扩散泵”,灯亮,扩散泵开始加热。3、等20分钟左右,扩散泵排气管应热,开冷规开关,“质谱室压强”表头指针应从左打向右(即冷规已激发)再关冷规。4、开抽速阀,过几分钟后开冷规,表头指针应从左打向右,再从右向左逐渐上升(真空示值在1×10-2Pa以下请不要长时间开冷规,可等一会儿再开),当真空示值超过1×10-2Pa后,可启动灯丝,灯亮,“发射电流”有指示,开、关漏孔检查检漏仪灵敏度(可调加速电压使信号指示Zda),灵敏度达要求后关漏孔。5、将工件用外接泵抽上真空后,开节流阀至冷规指示值为5×10-3~1×10-2Pa之间,对工件喷氦检漏。检漏完,关节流阀。检漏仪在我国更多真空设备的检查之中得到了普遍的应用。滁州推车式检漏机
检漏仪可采用干式泵达到无油蒸气的效果。湖州密封性检漏设备
检漏仪的噪声主要来源于电路噪声和本底噪声,目前设备电子线路和电子元件的改进,使得电路噪声已经降得很低,因此检漏仪的本底噪声成为影响设备性能的主要因素。而其本底噪声的产生主要是由于本底峰的不稳定造成的,主要形成的原因包括:一、离子源中的发射电流、加速电压以及分析器的电磁参数不稳定。二、真空油脂、橡胶材料、有机绝缘材料都可吸附和再释放出氦气,而电离规,特别是磁放电真空规对氦有记忆效应,其表面污染时就更为严重。三、抽气系统中抽速不稳定和氦的反扩散。四、检漏仪中空气的本底影响。五、残余气体分子对离子的散射作用。六、灯丝和其他电极受机械振动引起的效应。湖州密封性检漏设备
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