检漏仪漏率校准方法:漏率校准,①校准系统的组成校准系统由标准漏孔、截止阀及需校准的氢质谱检漏仪组成。②示值误差通电预热,待复检漏仪启动完成后,采用标准漏孔对复质谱检漏仪进行校准,将一经过校准的标准漏孔接入检漏仪系统,运行检漏仪,待漏率示值稳定后,可以读出标准漏孔漏率的检漏仪示值,同一标准漏孔测量三次,计算检漏仪示值平均值,从而得到标准漏孔漏率与检漏仪示值平均值的示值误差。结束后,分体式检漏仪生产厂家,分体式检漏仪生产厂家,将其他量级的标准漏孔依次按此方法接入检漏仪系统进行测试,得到检漏仪在每一量级下漏率的示值误差。如果测试结果有较大偏差,可以考虑检漏仪的自校功能,待完成后,再用标准漏孔进行测试,分体式检漏仪生产厂家。检漏仪一般由质谱管,真空系统和电子系统组成。分体式检漏仪生产厂家
检漏仪的检漏原理:利用氦气是比氢气小的第二轻的惰性气体,氦气在自然状态下会向上垂直扩散,在被检测的管道中注入氦气。如果这些设备有漏点,那么我们就能通过监测仪器探测到有氦气在管道外部。这就是管道中氦气检漏的方法。对于一些高精尖的细小电子元件,氦气怎么检漏呢?将要检测的元件放入充满氦气的容器中并且加压。在压力的作用下,如果这些元件存在漏点,必然会有氦气通过 这些小孔进入到元件内部。使用压缩空气将元件表面的少量残留氦气吹扫干净之后,再利用质谱仪检测元件表面泄露的氦气。全自动检漏仪多少钱一台检漏仪的噪声主要来源于电路噪声和本底噪声。
台式氦质谱检漏仪的明显优点:1、适合批量测试使用:台式氦质谱检漏仪包含两台前级泵、高传到液压集成和三个检漏仪,缩短检漏周期。2、前级泵可选择性:可以根据不同需求选择不能类型的前级泵。3、操作简便:自动调整、校准、回零,使得检漏操作简便可靠。4、运行稳定:单极开关启动或关闭,高性能阀门,保证设备可稳定运行百万次;自保系统可保证设备在误操作或电源故障条件免于损坏。氦质谱检漏仪是根据质谱分析原理,以氦为示踪气体,对真空设备和密封器件的漏隙进行定位或定量、定性测量的完整系统。
检漏仪的噪声主要来源于电路噪声和本底噪声,目前设备电子线路和电子元件的改进,使得电路噪声已经降得很低,因此检漏仪的本底噪声成为影响设备性能的主要因素。而其本底噪声的产生主要是由于本底峰的不稳定造成的,主要形成的原因包括:一、离子源中的发射电流、加速电压以及分析器的电磁参数不稳定。二、真空油脂、橡胶材料、有机绝缘材料都可吸附和再释放出氦气,而电离规,特别是磁放电真空规对氦有记忆效应,其表面污染时就更为严重。三、抽气系统中抽速不稳定和氦的反扩散。四、检漏仪中空气的本底影响。五、残余气体分子对离子的散射作用。六、灯丝和其他电极受机械振动引起的效应。氦质谱检漏仪由离子源、分析仪、收集器、冷阴极电离计、气体萃取系统和电气部分组成。
检漏仪的基本原理与结构:检漏仪一般由质谱管,真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源,质量分析器和离子检测器; 真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并聚焦成束,以一定能量注入分析器,目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。离子检测器的作用是手机质量分析器所选定的氦离子流并加以放大,再通过比对运算,得出泄漏率,真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空,同时完成被检件的抽空和氦气的引入。真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构,检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。常规系统多用于早期的检漏仪,该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通,由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到,因而具有较高的灵敏度,但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比,被检件只与低真空相通,因此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏,氦气是逆扩散到质谱管,不会对系统有污染,因此被普遍采用,已成为市场的主流产品。检漏仪内部泄漏怎么处理?温州密封检漏仪
检漏仪检测范围很宽,不但可检测氦气,还能检测其它气体。分体式检漏仪生产厂家
检漏仪待机时电离室真空度保持在≤3x10-2Pa,灯丝不易被氧化脆断。在检漏过程中,当出现意外情况,系统突然暴露大气或真空度突然降低,导致大量的气体突然进入电离室,真空度≥1x10-1Pa时,灯丝电流急剧增大,灯丝被碳化,就发生了脆断现象。检漏仪灯丝寿命如何延长?由前面分析已知,造成检漏仪灯丝脆断的原因:1.真空度低;2.灯丝电流过大;3.对灯丝有害的气体气压太高(氧化性气体、水蒸气、氢气)。那么,在使用中尽量避免灯丝在上述恶劣环境下长时间开启,或者说尽量提高灯丝的上述使用条件就可以有效延长检漏仪的灯丝寿命。如:1.使用中尽量将预置真空开关空挡;2.避免电离室泄入有害气体(氧化性气体、水蒸气、氢气)。分体式检漏仪生产厂家
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