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氦质谱检漏仪的技术要求：1、仪器的错、缺相保护功能，使用三相电源的氦质谱检漏仪应当有错、缺相保护措施。2、仪器漏率显示系统误差，无锡无损检漏机，氦质谱检漏仪离子流放大器及显示系统的误差应不超过±5%。3、仪器漏率音响报警功能，氦质谱检漏仪应当设有被检工件漏率音响报警装置。4，无锡无损检漏机、仪器入口处压力测量和控制电路，无锡无损检漏机，带有粗抽泵的氦质谱检漏仪，在检漏口应当有压力指示仪表，并应具有在制造厂规定的压力范围内从粗抽自动(或手动)切换到检漏的功能。5、仪器质谱室灯丝保护功能，氦质谱检漏仪中和质谱室相连的高真空抽气系统应当有压力指示仪表与质谱室灯丝保护电路，其动作范围应符合制造厂的规定。检漏仪对高纯气体管道进行测试的注意事项有哪些？无锡无损检漏机
氦质谱检漏仪的结构：1、质谱室，形象的说，质谱室是氦质谱检漏仪的心脏，由离子源，质量分析器和离子检测器三个部分组成，并将冷阴极磁控规也放在其内，共用其磁场。2、真空系统，真空系统是提供质谱室正常工作的条件。由于钨阴极正常工作时需要具备0.001-0.01Pa的真空度，同时保证氦离子在分析器中的运动有较高的传输率，因此建立一个高真空系统是必要的。3、电气系统，氦质谱仪电气部分的中心是质谱室的供电和测量，其他部分包括真空系统的电源与控制部分，操纵面板及输出仪表等。南京密封性检漏仪报价检漏仪可以根据各种检测仪器的日常操作模式和应用情况进行分析。
氦质谱检漏仪真空系统一般包括：1、主泵：一般用护散泵或涡轮分子泵。极限压力小于5×10-4Pa，其抽速应导气载匹配。2、前级真空泵：一般采用旋片式机械真空泵，在以分子泵为主泵的系统中也有采用薄膜泵或干泵的。极限压力小于1×10-1Pa，抽速导主泵匹配。3、预抽真空泵：一般与前级真空泵共用一个泵，也有特定预抽真空泵的。预抽真空泵一般采用旋片式机械真空泵，其抽速视被检件大小而定，因此预抽真空泵大都由用户自配。4、真空规：一般采用冷阴极磁控放电直空规(潘宁规，又称冷规)来测量质谱室中的压力。也有用电阻规或热偶规测量被检件的预抽压力和系统的前级压力的。
检漏仪有测量误差的原因：第1，当检漏仪的校准灵敏度时，标准泄漏的位置不同于被检测泄漏的位置，即标准泄漏与被检测泄漏到检漏仪之间的距离太大，在途中泄漏的氦损失不相等，导致两者进入检漏仪的氦可比性差。第二，氦压或分压比不等于被检漏孔和标准漏孔，或氦压力和分压比值不能准确给出，导致无法转换，也会产生漏率测量误差。第三，标准漏孔的标称漏率存在误差。第四，检漏仪输出指示与漏率线性关系差。第五，当校准灵敏度或通过比较法确定泄漏率时，标准泄漏的气流特性不同于检测到的泄漏。使用氦质谱检漏仪常用的方法大体可分为三种，即喷氦法（负压法），正压法，氦罩法。
检漏仪噪声是哪儿来的？高灵敏度检漏仪的噪声来源大体上可以分为两种，一个是离子流接收放大机输出电路的噪声，另一个就是本底噪声。而本底噪声则是由本底峰的不稳定造成，与本底的大小以及电磁场参数的稳定度有关，具体的包括：1、离子源发射电子流的不稳定性，加速电压、分析器电磁参数的不稳定性；2、氦气在真空系统内的吸附和再放出（如真空油脂、人造橡胶、有机绝缘材料都可以吸附和再放出氦气），电离真空计特别是磁放电真空计对氦气的记忆效应（被污染的情况下更为严重）；3、抽气系统中氦气的反扩散与对氦气抽速的不稳定性；4、检漏仪本身漏气和氦气的渗透；5、残余气体分子对氦离子的散射等等。这些因素对本底噪声及灵敏度的影响都很大。检漏仪应在无风条件下使用。南京分体式检漏仪费用
检漏仪检测范围很宽，不但可检测氦气，还能检测其它气体。无锡无损检漏机
检漏仪的应用特点：(1)便携式：各国推出的小型便携式检漏仪不但灵敏度高，而且便于携带，给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。(2)高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。(3)自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜单选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。(4)全无油的干式检漏：有些国家生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。(5)检漏范围宽：现今生产的四极检漏仪，质量范围很宽，不但可检测氦气，而且能检测其它气体。分子泵排气系统取代扩散泵排气系统，不但解决了油蒸气对质谱室的污染问题，而且对快速启动仪器和快速停机做出了很大贡献。为适应检漏口压强的变化和对灵敏度要求的不同，分子泵一般采用多级构造和几种不同的转速。无锡无损检漏机
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