氦质谱检漏仪的电气部分:1、离子源电源。为离子源提供加速、聚集、拒斥电压。2、发射电流稳定电路。稳定和调节发射电流。3、离子流放大器和单响报警器。将离子流进行放大并将输出信号送入输出仪表或显示器和音响报警器。4、真空测量电路。一般用热偶计测量低真空,用冷阴极磁控放电真空计测量高真空。5、灯丝保护电路。当质谱室正常工作压力被破坏后,立即切断灯丝供电回路,无锡小型检漏仪厂家,以保护灯丝。6、其他电路。不同型号的氦质谱检漏仪所具有的功能不尽相同,所以电路也有不少差别,无锡小型检漏仪厂家,无锡小型检漏仪厂家,这在各自的说明书中都有说明。检漏仪在使用前需要采用标准氦校准漏孔进行校准,该标准漏孔必须经过计量校准过的。无锡小型检漏仪厂家
检漏仪是利用氦气作为示漏气体,用气体分析仪对氦气进行检漏的质谱仪。在接有检漏仪(即调整到只对氦气反应的工作状态的气体剖析仪)的被检容器上喷射该气体,如果容器有漏孔,分析仪就会发出响声,从而知道漏孔的位置和漏气量。氦质谱检测泄漏技术是真空检测领域中不可缺少的一项技术,由于其检测效率高、简便易行、仪器反应灵敏、准确度高、不受其它气体干扰等特点,在电阻炉检测泄漏中被普遍应用。试验后,质谱仪系统将对气泡体及连接管内气体进行主动分析。为确保实验结果的准确性,所有鼓泡器中水、氧和溶剂的浓度都必须小于1ppm。测试后,应提醒操作者测试结果是否合格,并记录所有的测试数据,以便追踪。南京分体式检漏仪费用氦质谱检漏仪自身的能力和使用情况的直接影响到了设备的检测准度。
氦质谱检漏仪漏率的校准方法:一、环境条件,校准环境温度为(23±5)℃,校准过程中室温变化不超过±1℃,环境相对湿度不大于80%。校准设备周围应无明显的温差、气流和强电磁场等外部干扰。环境温度要控制在23℃附近,因为标准漏孔的出厂标称漏率对应的环境温度一般为23℃。二、标准器的选择,标准器采用渗氦型标准漏孔,漏率标称值在(10-6~10-10)Pa·m3/s,不确定度不大于10%。精密玻璃温度计,测量范围(0~50)℃,不确定度U=0.04℃,k=2。
检漏仪的检漏原理:利用氦气是比氢气小的第二轻的惰性气体,氦气在自然状态下会向上垂直扩散,在被检测的管道中注入氦气。如果这些设备有漏点,那么我们就能通过监测仪器探测到有氦气在管道外部。这就是管道中氦气检漏的方法。对于一些高精尖的细小电子元件,氦气怎么检漏呢?将要检测的元件放入充满氦气的容器中并且加压。在压力的作用下,如果这些元件存在漏点,必然会有氦气通过 这些小孔进入到元件内部。使用压缩空气将元件表面的少量残留氦气吹扫干净之后,再利用质谱仪检测元件表面泄露的氦气。质谱室是氦质谱检漏仪的心脏。
检漏仪启动流程:1、将总电源转到“前级泵”,低真空表头指示值应从左向右逐渐上升至2~15Pa,开抽速阀,开漏孔开关,表头示值也应能抽到原来位置,再关抽速阀。2、将总电源转到“扩散泵”,灯亮,扩散泵开始加热。3、等20分钟左右,扩散泵排气管应热,开冷规开关,“质谱室压强”表头指针应从左打向右(即冷规已激发)再关冷规。4、开抽速阀,过几分钟后开冷规,表头指针应从左打向右,再从右向左逐渐上升(真空示值在1×10-2Pa以下请不要长时间开冷规,可等一会儿再开),当真空示值超过1×10-2Pa后,可启动灯丝,灯亮,“发射电流”有指示,开、关漏孔检查检漏仪灵敏度(可调加速电压使信号指示Zda),灵敏度达要求后关漏孔。5、将工件用外接泵抽上真空后,开节流阀至冷规指示值为5×10-3~1×10-2Pa之间,对工件喷氦检漏。检漏完,关节流阀。氦质谱检漏仪在使用时需注意哪些问题?常州密封性检漏仪供应厂家
拆卸氦质谱检漏仪部件后,安装时要避免安装处出现泄漏。无锡小型检漏仪厂家
氨质谱检漏仪在许多领域里得到普遍的应用,例如,在航空航天领域里宇宙飞船、航天飞机、火箭、卫星、飞机等这些都要用到真空检漏技术。在一个特定的泄漏率值里,如果检测容积增大的话,那么相应的压力降低的速度就越低,因而测量时间需要相应增加。在一些特定的条件下,如果不想方设法减少测量容积,那么可能会无法达到测量需要的精确度和灵敏度。当充气压力或测试容积增加时,这种充气引起的压力降低随之变得明显。解决这个问题的办法之一是在充气与测量之间增加一段稳定时间来消除这种影响。无锡小型检漏仪厂家
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