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氦质谱检漏仪应安装在符合仪器使用的环境要求的场所，真空衰减法检漏设备特点，特别是仪器的电源插座，应符合要求，要有良好的地线，左右要留有30CM的通风间距。放置好检漏仪，以避免仪器有倾斜或倾倒的危险。如其中有一示值与上不符，则是离子源内有短路，应取下排除，真空衰减法检漏设备特点。将阀开关由“前置”转向“粗抽”(注意：阀开关在“粗抽”的时间不要超过五分钟)，全开节流阀，等真空抽上后，关闭节流阀，将“粗抽”转向“前置”，开抽速阀，开冷规，真空衰减法检漏设备特点，等真空过1×10-2Pa后可启动灯丝，调氦峰。国内外生产的不同类型的氦质谱检漏仪的灵敏度是不一样的，如果检漏要求的灵敏度较高，就要认真选择。造成检漏仪灯丝脆断的原因是真空度低或者灯丝电流过大。真空衰减法检漏设备特点
氦质谱检漏仪的技术要求：1、仪器的错、缺相保护功能，使用三相电源的氦质谱检漏仪应当有错、缺相保护措施。2、仪器漏率显示系统误差，氦质谱检漏仪离子流放大器及显示系统的误差应不超过±5%。3、仪器漏率音响报警功能，氦质谱检漏仪应当设有被检工件漏率音响报警装置。4、仪器入口处压力测量和控制电路，带有粗抽泵的氦质谱检漏仪，在检漏口应当有压力指示仪表，并应具有在制造厂规定的压力范围内从粗抽自动(或手动)切换到检漏的功能。5、仪器质谱室灯丝保护功能，氦质谱检漏仪中和质谱室相连的高真空抽气系统应当有压力指示仪表与质谱室灯丝保护电路，其动作范围应符合制造厂的规定。便携式检漏设备供应厂家对于不同的目的，可以选择不同的检漏仪来完成漏检任务。
氦质谱检漏仪质谱室故障及处理：1、灯丝无法正常启动，在确认机械泵、分子泵处于正常工作状态后，若灯丝仍无法发射离子流，则需要更换离子源。若灯丝指示灯闪烁，检查离子源航空插座与接线柱是否开路，若开路，需要更换灯丝，若不开路，检查其接线柱与其他接头是否导通，消除短路现象。2、本底信号处于杂乱无章的波动状态且大小远远超过氦质谱检漏仪故障自身的本底噪声，需要考虑放大器是否故障。质谱室出现故障一般用户无法解决，只需对故障进行定位，交由维修ZX处理。
检漏仪分子泵故障如何维修？检查真空表是不是出现了问题，分子泵出口是否打开，机械泵油是否太脏，机械泵是否旋转，系统是否漏气。分子泵的叶片或转子也可能损坏。可以使用自己的工具移动刀片来判断它是否可以旋转。分子泵加速指示灯不亮。电路板上的保险丝被烧毁了。更换保险丝或检查是否有短路。氦泄漏检测仪的灯丝不能正常启动。在确认机械泵和分子泵处于正常工作状态后，如果灯丝仍不能发射离子流，则需要更换离子源。如果灯丝指示灯闪烁，请检查航空插座和离子源端子是否开启。如果开路，请更换灯丝。如果没有，请检查端子是否与其他连接器连接，以消除短路。应定期更换氦质谱检漏仪的泵油，适时对机械泵加油。
检漏仪对高纯气体管道进行测试的注意事项：确认系统中的压力为0，如果系统中还有正压，要先将系统中的气体放掉。缓缓打开检漏仪入口处的阀门，开始将系统抽成真空状态。遵照检漏仪的操作说明操作，直至达到可以检测的状态。记录下检漏仪的背景氦漏率，该背景氦漏率低于1 ×10-9 mbar.l/s以后，才可以进行喷吹工作。从较靠近检漏仪的焊道或连接处开始检测，将氦气用喷口喷吹到焊道或连接处，使得氦气会停留在焊道或连接处一段时间，确认没有泄漏后，进行下一个焊道或连接处的检测，直到较后一个焊道或连接处。如果发现检漏仪的指示值有上升的现象，待到检漏仪读值恢复正常后，重新检测该焊道或连接处以确认其是否真的有漏，如果确认不是该焊道或连接处有漏，要依次检测该焊道或连接处之前的焊道或连接处，直到找到漏点为止。直至所有的接点都被检测到，检测合格的接点要贴合格标志。所有的接点都喷吹过氦气后，继续观察检漏仪的读值10分钟左右，确认读值没有异常后才可以将系统与仪器之间分离开。氦质谱检漏仪应用让我国许多设备的运转情况得到了更好的监控。模块式检漏仪多少钱一台
氦质谱检漏仪有哪些保养要求呢？真空衰减法检漏设备特点
关于检漏仪的一些知识点：仪器的反应时间及清理时间，仪器的反应时间是质谱检漏仪的主要性能指标之一。检漏时，当氦气刚刚喷及漏孔处，即使不考虑氦气通过漏孔的时间，也不可能立即引起质谱室中氦分奢的急剧变化，也就是说不会立即引起输出电流的急剧变化，而要有一个过程。假定漏孔漏率为QHe，质谱室处对氦的抽速为SHe，质谱室至被检容器间的总容积为V，那么在dt的时间内漏入的氦气量为QHedt。它的一部分被抽走，另一部分在质谱室中建立起氦分压pHe（不包括本底）。被抽走的氦量为pHeSHedt，使质谱室容积V内氦压力升高dpHe时的氦量为VdpHe。因此有等式两边除以dt，并经移项整理后得到。真空衰减法检漏设备特点
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