氦质谱检漏仪的极限真空及入口处抽速,质谱室极限真空,尤其是工作真空及入口处抽速是表征仪器性能的重要参数。利用检漏仪的真空规可以测定仪器的极限真空和工作真空。利用流量计可测定仪器入口处抽速。所谓“可检率”是指检漏讯号为仪器本底噪声的两倍时,才能认定有漏气讯号输出。所谓“漏孔漏率”是指一个大气压的干燥空气通过漏孔漏向真空侧的漏气速率,安徽检漏仪推荐厂家。仪器本底噪声,一般指在2min内输出仪表的较大的波动量,能较方便地估计检漏效果。氦质谱检漏仪应用领域:学校科研单位,安徽检漏仪推荐厂家、真空制造、真空镀膜,安徽检漏仪推荐厂家、航空航天、核工业、电力、电子元器件、汽车及制冷、低温容器、阀门、仪器仪表、聚酯等行业。检漏仪真空度不能提高可能是真空计指示不对。安徽检漏仪推荐厂家
氦质谱检漏仪的保养要做到以下几点:1、严禁使用氦质谱检漏仪检测未知浓度环境的气体,以免长久性损坏传感器。2、对于未做防尘处理的氦质谱检漏仪,勿在粉尘浓度过高的环境中使用仪器。3、氦质谱检漏仪不慎进水,请勿开启仪器,拆开外壳,及时处理仪器上水珠,并置于通风处48小时,并退回生产厂商重新检验校准。4、经常检查氦质谱检漏仪进气孔是否有泄漏及堵塞现象,保持进气孔的畅通。5、保持氦质谱检漏仪的干燥,严禁接触水,并避免直接接触腐蚀性液体。6、严禁在高温的环境中使用氦质谱检漏仪,高温使用仪器,很可能会长久性的损坏传感器。请参阅仪器的温度使用范围。苏州检漏仪价格氦质谱检漏仪在使用时需注意哪些问题?
检漏仪漏率校准数据处理:漏率示值误差,漏率的温度修正标准漏孔漏率易受温度变化影响,温度对标准漏孔漏率的影响一般为3%/℃,所以如果实际环境温度和标准漏孔证书中温度不一致,需要将标准漏孔证书中漏率和标准漏孔漏率的检漏仪示值修正至同一环境温度下来计算,并在测试结果中加以说明,修正方法如下:方法一:将标准漏孔证书中的漏率修正至实际环境温度下,用标准漏孔证书中的漏率加上或减去温度对标准漏孔漏率的影响系数计算值;方法二:将标准漏孔漏率的检漏仪示值平均值修正至标准漏孔证书中环境温度下,用标准漏孔漏率的检漏仪示值平均值加上或减去温度对标准漏孔漏率的影响系数计算值。此方法对检漏仪漏率部分进行校准,方法简单明了,便于实际应用,可操作性强,可以满足检漏仪漏率性能和使用要求,保证了检漏仪漏率量值准确可靠。
检漏仪漏率校准方法:漏率校准,①校准系统的组成校准系统由标准漏孔、截止阀及需校准的氢质谱检漏仪组成。②示值误差通电预热,待复检漏仪启动完成后,采用标准漏孔对复质谱检漏仪进行校准,将一经过校准的标准漏孔接入检漏仪系统,运行检漏仪,待漏率示值稳定后,可以读出标准漏孔漏率的检漏仪示值,同一标准漏孔测量三次,计算检漏仪示值平均值,从而得到标准漏孔漏率与检漏仪示值平均值的示值误差。结束后,将其他量级的标准漏孔依次按此方法接入检漏仪系统进行测试,得到检漏仪在每一量级下漏率的示值误差。如果测试结果有较大偏差,可以考虑检漏仪的自校功能,待完成后,再用标准漏孔进行测试。要保持氦质谱检漏仪的干燥,严禁接触水,并避免直接接触腐蚀性液体。
氦质谱检漏仪真空系统一般包括:1、主泵:一般用护散泵或涡轮分子泵。极限压力小于5×10-4Pa,其抽速应导气载匹配。2、前级真空泵:一般采用旋片式机械真空泵,在以分子泵为主泵的系统中也有采用薄膜泵或干泵的。极限压力小于1×10-1Pa,抽速导主泵匹配。3、预抽真空泵:一般与前级真空泵共用一个泵,也有特定预抽真空泵的。预抽真空泵一般采用旋片式机械真空泵,其抽速视被检件大小而定,因此预抽真空泵大都由用户自配。4、真空规:一般采用冷阴极磁控放电直空规(潘宁规,又称冷规)来测量质谱室中的压力。也有用电阻规或热偶规测量被检件的预抽压力和系统的前级压力的。检漏仪可以用于镀膜设备的检漏。淮安检漏仪供应商家
检漏仪能实现复杂结构之下的漏孔定位测量。安徽检漏仪推荐厂家
氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。此检测方法使用的示踪气体选择了氦气,氦气具有质量数小重量轻并且有渗透能力强的优点,达到了细检漏的目的。氦质谱检漏仪是根据被检工件的不同它所使用的检漏方法也是不同的。对产品检漏前首先要对工件的结构和制造工业有所了解,了解有哪些漏源,才能快,准,狠的完成检漏。需要进行前级真空泵的定期换油及深度保养,以及电磁阀组的超声清洗,此外质谱模块组件的超声清洗以及分子泵也建议定期进行保养维护,避免因设备保养不及时导致设备使用寿命缩短。安徽检漏仪推荐厂家
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