南京小型氦质谱检漏仪 上海妤林真空设备供应

氦质谱检漏仪常见的检漏法：1、负压法检漏，负压法检漏是将被检件接到检漏仪的检测口，连续向可疑的漏孔喷射示踪气体，示踪气体通过漏孔进入检漏仪并被检测。一般电子器件的外壳、高压开关管、氧化锌、避雷器等都应采用这种方法检漏。2、正压法检漏，正压法检漏与负压法检漏相反，吸口接在检漏仪的检测口，而被检件充入规定压力的示踪气体，漏孔泄漏出来氦气被吸入检漏仪被检测。大型容器或内部放气管量很大的容器做负压检漏很不经济，而且检漏速度慢，南京小型氦质谱检漏仪，一般采取正压检漏。3，南京小型氦质谱检漏仪、压氦法检漏，压氦法检漏是将压有一定压力的示踪气体的被检件放入检漏夹具中，南京小型氦质谱检漏仪，然后连至检漏仪将其抽空，示踪气体通过漏孔泄漏出来，经检漏仪检测总泄漏量。氦质谱检漏仪捡漏方法基本上可分为用氦气内部加压法和设备内部抽真空外部施氦这两种。南京小型氦质谱检漏仪

氦质谱仪的泄漏检测方法通常有两种，一种是常规泄漏检测，另一种是反向扩散泄漏检测。反向扩散泄漏检测是将测试件连接到分子泵出气口的末端，并且泄漏的氦气从分子泵出气口进入安装在泵进气口的质谱仪管中，方向相反。泵排气。这种泄漏检测方法基于以下事实：分子泵对不同的气体质量具有不同的压缩率（分子泵出口处的气压与入口处的压力之比），即不同气体的反向扩散。反向扩散法检漏可以使试件的内部压力更高。氦质谱仪检漏仪可达到300Pa（通常传统检漏仪小于0.05Pa），适用于检测大型容器或泄漏较大的设备。泄漏。反向扩散法还具有不易污染质谱仪管且灯丝寿命长的优点。江苏分体式氦质谱检漏仪厂家推荐相比于传统检漏方法，氦质谱检漏仪检测效率高、检漏精度要高3-4个数量级，且不会对电池造成任何影响。

氦质谱检漏设备相比于传统检漏方法有哪些优势?氦检是先将电池里的空气抽掉，然后注入氦气，用氦质谱检测仪探测有没有氦气漏出。一方面，氦气是惰性气体，不会跟正负极材料、电解液等发生反应，所以很安全;另一方面，氦气比任何介质都要小，如果电池里面连氦气都不会泄漏，说明密封很好。相比于传统检漏方法，氦检检测效率高、检漏精度要高3-4个数量级，且不会对电池造成任何影响。而目前锂电池行业普遍采用的正压气泡检漏法容易导致电池壳体发生变形，同时检测效率和检测精度较低，尤其对金属壳体和铝塑膜软包装锂离子电池并不适用。

氦质谱检漏仪背压法原理：采用背压法检漏时，首先将被检产品置于高压的氦气室中，浸泡数小时或数天，如果被检产品表面有漏孔，氦气便通过漏孔压入被检产品内部密封腔中，使内部密封腔中氦分压力上升。然后取出被检产品，将表面的残余氦气吹除后再将被检产品放入与检漏仪相连的真空容器内，被检产品内部密封腔内的氦气会通过漏孔泄漏到真空容器，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品总漏率测量。检漏仪给出的漏率值为测量漏率，需要通过换算公式计算出被检产品的等效标准漏率。背压法的优点是检测灵敏度高，能实现小型密封容器产品的泄漏检测，可以进行批量化检测。氦质谱检漏仪能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。

氦质谱检漏仪的检漏方式：1、钟罩法——测总漏率，将被检件与仪器检漏口联接抽真空，在被检件外面罩以充满氦气的容器，如被检件有漏孔，氦气便由漏孔进入被检件，达到质谱管被检测。所测漏率是被检件的总漏率，不能确定有几个泄漏点和每个漏点的准确位置。可以看出钟罩法是基于喷吹法的一种检漏方法。2、背压法——测总漏率，进行电子元器件气密性检测时常用背压法。检漏前用特定加压容器向被检件压入氦气(由压力和时间控制压入的量)，然后取出被检件，吹去表面吸附氦后放入特定检漏罐中，再将检漏罐联接到检漏仪的检漏口上，对检漏罐抽真空，实施检漏。若器件有漏，则通过该漏孔压人的氦气又释放出来进入检漏罐，到达质谱管。用这种方法测得的漏率也是总漏率。氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。南京小型氦质谱检漏仪

选择氦质谱检漏仪时灵敏度要能满足检漏的要求，国内外生产的不同类型的氦质谱检漏仪的灵敏度是不一样的。南京小型氦质谱检漏仪

氦质谱检漏仪的噪声主要来源于电路噪声和本底噪声，目前设备电子线路和电子元件的改进，使得电路噪声已经降得很低，因此氦质谱检漏仪的本底噪声成为影响设备性能的主要因素。而其本底噪声的产生主要是由于本底峰的不稳定造成的，主要形成的原因包括：一、离子源中的发射电流、加速电压以及分析器的电磁参数不稳定。二、真空油脂、橡胶材料、有机绝缘材料都可吸附和再释放出氦气，而电离规，特别是磁放电真空规对氦有记忆效应，其表面污染时就更为严重。三、抽气系统中抽速不稳定和氦的反扩散。因此，为尽量消除氦质谱检漏仪的本底噪声，需要针对性的采取措施，如减少采用有机材料，不用磁放电规，提高检漏仪的工作真空度，保证稳定抽速等等。南京小型氦质谱检漏仪

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