盐城自动氦质谱检漏仪 上海妤林真空设备供应

氦质谱检漏仪是由离子源、分析器、收集器、冷阴极离子仪等组成的质谱室、抽气系统及电气部分等组成。氦质谱检漏仪是一种用氦气作为示漏气体进行泄漏检测的特定仪器，具有性能稳定、灵敏度高等特点。在真空检漏技术中，采用的是通用型检漏仪器，具有较高的灵敏度。氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。此检测方法使用的示踪气体选择了氦气，氦气具有质量数小重量轻并且有渗透能力强的优点，盐城自动氦质谱检漏仪，达到了细检漏的目的。氦质谱检漏仪特点：1.检测时间和周期非常短，可以达到5s以内；2.检测的介质比较常用，盐城自动氦质谱检漏仪，只需压缩空气即可；3，盐城自动氦质谱检漏仪.不会受到主观因素判断的影响；4.检测的数据精确。氦质谱检漏仪有哪些结构？盐城自动氦质谱检漏仪

氦质谱检漏仪的本底噪声高是什么原因？一、离子源中的发射电流、加速电压以及分析器的电磁参数不稳定。二、真空油脂、橡胶材料、有机绝缘材料都可吸附和再释放出氦气，而电离规，特别是磁放电真空规对氦有记忆效应，其表面污染时就更为严重。三、抽气系统中抽速不稳定和氦的反扩散。四、检漏仪中空气的本底影响。五、残余气体分子对离子的散射作用。六、灯丝和其他电极受机械振动引起的效应。因此，为尽量消除氦质谱检漏仪的本底噪声，需要针对性的采取措施，如减少采用有机材料，不用磁放电规，提高检漏仪的工作真空度，保证稳定抽速等等。另外检漏时切勿将大量的氦气通进仪器，避免本底太大，难以清理。盐城自动氦质谱检漏仪在使用氦质谱检漏仪对产品检漏前首先要对工件的结构和制造工业有所了解。

氦质谱检漏仪维护保养方法：机械泵维护，检查机械泵油量，如低于较低标线则添加泵油；如泵油发黑、浑浊则更换泵油。具体操作参见机械泵说明书。清洗，检漏仪在没有氦气进入时，却有一定漏率指示，并且长时间存在。这种情况多由于检漏口、波纹管、密封圈等脏污后吸附了氦气，在检漏时再次释放出来造成较大的氦本底。为避免油污、粉尘、杂物进入检漏仪，在检漏口下方装有过滤器，将其拆下用酒精浸泡清洗。检漏口、波纹管用棉布擦拭即可。储存，检漏仪长期不使用时，用盲板将检漏口、机械泵排气口封上，触摸屏用棉布或者硬纸板遮挡，标准漏孔、气袋喷枪、相关配件装入包装盒，存放到阴凉、通风、没有漏雨、火灾等危险的房间。

氦质谱检漏仪是一种用氦气作为示漏气体进行泄漏检测的专门使用仪器，具有性能稳定、灵敏度高等特点。在真空检漏技术中，采用的是通用型检漏仪器，具有较高的灵敏度。氦质谱检漏仪是磁偏转式质谱分析仪。是一种灵敏度较高的仪器，普遍应用于检测各种真空系统和零件的漏电，具有很好的实用价值。双层串联磁偏变装置与单层磁偏变装置相比，背景噪声明显降低，适用于超真空系统、元件和部件的检漏。逆电流式氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局，将检件放置在检漏仪主抽泵的前级部位，因而具有在高压条件下能检漏，不会造成液氮污染和质谱室污染等特点.适用于对大漏率、真空环境卫生较差的真空系统的检漏。氦质谱检漏仪测试高纯气体管道要确认系统中所有的阀门和调压阀都是全开的。

氦质谱检漏仪定期保养该怎么做？1.对氦质谱检漏仪真空系统进行保养时，由于常见氦质谱检漏仪的真空系统部分由分子泵、前级机械泵组成，因此在常规检测时通常由前级机械泵对被检件预抽真空，当真空度达到规定压力后，再进入真空系统部分；被检件在检测前会被要求进行清洁前处理，以防止粉尘、颗粒物等污染物进入真空系统。否则将直接污染真空系统，甚至造成真空泵损坏。因此，对被检件的前处理以及对设备自身的保养清理十分重要。2.除了上述氦质谱检漏仪真空系统需要保养之外，还需要进行前级真空泵的定期换油及深度保养，以及电磁阀组的超声清洗，此外质谱模块组件的超声清洗以及分子泵也建议定期进行保养维护，避免因设备保养不及时导致设备使用寿命缩短。氦质谱检漏仪作为一种测量仪器。安徽台式氦质谱检漏仪售后服务

氦质谱检漏仪维护保养方法：机械泵维护，检查机械泵油量，如低于较低标线则添加泵油。盐城自动氦质谱检漏仪

氦质谱检漏仪技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了普遍应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进入室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中较常用的两种方法。盐城自动氦质谱检漏仪

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