安徽台式氦质谱检漏仪技术指导 上海妤林真空设备供应

氦质谱检漏仪进展集中体现如下方面：1.智能化：以往的氦质谱检漏仪操作非常辅助，而现在的触屏式，自动检测。2.便捷化：这几年市场上各种小型便捷的检漏仪能够为行业提供小巧而灵敏性高的设备。3.自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机，安徽台式氦质谱检漏仪技术指导，安徽台式氦质谱检漏仪技术指导。整机由微机控制，安徽台式氦质谱检漏仪技术指导，菜单选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。4.全无油的干式检漏：有些国家生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。5.检漏范围宽：现今生产的检漏仪，质量范围很宽，不但可检测氦气，而且能检测其它气体。氦质谱检漏仪是根据被检工件的不同它所使用的检漏方法也是不同的。安徽台式氦质谱检漏仪技术指导

氦质谱检漏仪详细操作步骤：1、插上电源，打开氦质谱检漏仪总开关。等待2分钟，当听到一阵风鸣声之后说明氦质谱检漏仪已完全启动。2、查看氦质谱检漏仪装置确保检漏参数未被更改，氦质谱检漏仪运行正常。打开氦质谱检漏仪盲孔，选择合适大小的检漏托盘和密封橡胶板。用无尘布沾上酒精擦拭下密封孔处，把检漏托盘装在检漏口上，在放密封橡胶板时也要用沾上酒精的无尘布擦拭一遍；然后涂上一层高真空硅脂；Z后密封橡胶板对准检漏托盘中间的小孔紧密贴合放在检漏托盘上。3、组件检完之后再按下检漏按钮当待机按钮灯亮之后即可取下组件。温州移动式氦质谱检漏仪报价氦质谱检漏仪适用于元件精确检漏的要求。

使用氦质谱检漏仪要注意哪些问题？1、切勿放空或溢出检漏气体至试漏区，试漏中的可检漏率与检漏气体的本底浓度关系甚大，尽管检漏仪只检测检漏气体的浓度变化，高的本底浓度还趋于出现高的波动。如果在试漏后将检漏气体排放在试漏区内，那么在整个工作日内本底浓度将不断地增长。此外，在充注或排放中要确保无气体溢出，并定期检查连接件是否有漏。2、充注检漏气体前先检查大漏，在充注检漏气体前应快速测试是否存在大漏。否则，从大漏孔中溢出的检漏气体将污染试漏区。大漏孔的简易测漏方法是将试件抽空，在短时间内观察是否保持抽空压强，如试件能保持抽空压强，则表明它不存在任何大漏孔，可充注检漏气体。

氦质谱检漏仪是基于质谱法原理，以氦气作为检漏仪器。质谱仪由离子源、分析仪、收集器、冷阴极电离计、气体萃取系统和电气部分组成。质谱法室中灯丝发射的电子在室内来回振荡，与室内气体碰撞，氦气泄漏进入室内，电离成正离子，正离子在加速电场的作用下进入人体磁场，当洛伦兹力效应偏转时，电弧形成，加速电压的变化使不同质量的离子通过磁场和接收槽到达接收极而被探测到。氦气喷射法和氦气吸收法是电阻炉氦质谱检漏仪常用的两种检漏方法。氦质谱检漏仪具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度较高，用得比较普遍的检漏仪器。在使用氦质谱检漏仪对产品检漏前首先要对工件的结构和制造工业有所了解。

氦质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度较高，用得比较普遍的检漏仪器。氦质谱检漏仪的性能、特性好坏取决于质谱分析室。质谱分析室的工作原理是对离子源气体进行电离，电离出来的正离子经过电场加速聚焦通过缝隙进入均匀磁场，离子束在磁场力的作用下，旋转180o或90o按一定轨迹到达收集极，此种形式称之为磁性偏转分析形式。然后，经小电流放大器、微处理器，控制器等线路处理直至液晶屏显示出读数的大小。氦质谱检漏仪虽然是因为选用氦气作为示漏气体而得名。安徽台式氦质谱检漏仪技术指导

由于氦质谱泄漏检测器具有选择性识别能力，因此只给出气体中氦的分压信号。安徽台式氦质谱检漏仪技术指导

氦质谱检漏仪虽然是因为选用氦气作为示漏气体而得名，但实际上涉及的示漏气体包括氦气、氢气等，主要的是氦气。而之所以选择氦气作为主要的示漏气体，原因主要有以下几点：1、氦气的质量轻，易于穿过漏孔，进入系统时流动和扩散快，因此响应快，检漏灵敏度高。2、氦离子质荷比小，因此可以减小磁分析器偏转半径的尺寸和选用较弱一点的磁场。同时一阶氦离子的质荷比与一阶氢离子、二阶碳离子相差较大，利于离子分离，可以适当降低对分析器制造精度的要求，使质谱室中氦离子通过的各个缝隙，从而提高氦离子的传输率。3、氦在空气中及残余气体中的含量少，在材料出气中氦气也很少，因此本底压力小，检漏时本底信号小。安徽台式氦质谱检漏仪技术指导

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