客制化氦检机注意事项 上海妤林真空设备供应

提高氦质谱检漏仪灵敏度方法：1、尽量开大节流阀。2、尽量减小外接泵对工件的分流或采用不分流检漏(当工件抽上真空后，关闭工件与外接泵之间的阀门)。3、将工件用塑料袋包扎，袋内再充入氦气，(但此法不能测出具体漏点)。4、使用液氮，全开节流阀，采用不分流检漏，必要时可将抽速阀关小，客制化氦检机注意事项，客制化氦检机注意事项。氦质谱检漏仪日常维护：1、定期更换灯丝，清洗冷规。2、定期更换机械泵油，适时对机械泵加油。3，客制化氦检机注意事项、如加液氮，需定期清洗冷阱。4、拆卸氦质谱检漏仪部件后，安装时要避免安装处出现泄漏。5、适时对氦质谱检漏仪可能出现的泄漏处(如放气阀)进行清洗，排除漏点。氦质谱检漏仪是以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。客制化氦检机注意事项

氦质谱检漏仪常见的几种检漏法：1、负压法检漏，负压法检漏是将被检件接到检漏仪的检测口，连续向可疑的漏孔喷射示踪气体，示踪气体通过漏孔进入检漏仪并被检测。一般电子器件的外壳、高压开关管、氧化锌、避雷器等都应采用这种方法检漏。根据产品的不同，需要选择不同尺寸的夹具或辅助工具。2、压氦法检漏，压氦法检漏是将压有一定压力的示踪气体的被检件放入检漏夹具中，然后连至检漏仪将其抽空，示踪气体通过漏孔泄漏出来，经检漏仪检测总泄漏量。一般小型电子器件宜采用这种检漏方法。客制化氦检机注意事项为尽量消除氦质谱检漏仪的本底噪声，需要针对性的采取措施。

便携式氦质谱检漏仪的明显优点：1、性价比高：便携式氦质谱检漏仪是一款实用的检漏仪，可覆盖广大的应用领域，竞争性的价格及较低的使用成本，大抽速前级泵的设计，可缩短抽气时间，提高使用效率；2、自我保护功能：在突然暴露大气和突然断电时具有保护功能，系统的逆扩散设计保护了质谱室的清洁、真空，且不需要液氮；3、结构灵活：可采用主机与前级泵单独采买，前级泵可使用油封式旋片泵或涡卷式干泵，对于便携式氦质谱检漏仪，既可选择带有连接配件的主机形式，也可选择安装在两轮小车上的整体形式。

氦质谱检漏仪是180°磁偏转型的质谱分析计，其基本原理是根据离子在磁场中运动时，不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。检漏仪主要由质谱室、真空系统及电气控制部分组成。检漏工作时先打开抽空阀前级泵对检漏接口抽真空，当真空度P1优于200Pa时，打开入口阀1、2，关闭抽空阀，氦气将逆着分子泵的抽气方向进入质谱室中被检测出来，此时检漏仪的可检漏率为10-10Pa·m3/s。前级泵继续对检漏接口抽真空，当P1降至20Pa时，入口阀2关闭，入口阀3打开，分子泵的高抽速用于抽空试件，检漏仪的反应时间缩短，此时检漏仪的可检漏率为10-12Pa·m3/s。氦质谱检漏仪具有性能稳定、灵敏度高的优点。

氦质谱检漏仪的的故障和处理：1、内部的泄漏，当检漏仪内部存在泄漏时，会对检漏工作造成较大干扰，容易造成误检、误判。各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的橡胶圈密封。采用喷氦法寻找漏点，更换密封件。2、本底信号不稳定，1）本底信号过高有可能是环境本底被污染，注意检查室内是否有氦气源在泄漏。将室内的门窗打开通风，降低环境本底。2）本底信号过高也有可能是因为质谱室被污染。检漏仪若经常检测含有油污、粉尘等杂质较多的被检件时，质谱室极易被污染，需返厂进行清洗，本底信号不稳定，检查电源电压是否稳定，氦质谱检漏仪应有可靠的接地。氦质谱检漏仪的的可检漏率为10-12Pa·m3/s。客制化氦检机注意事项

氦质谱检漏仪应按照说明书的要求定期进行保养。客制化氦检机注意事项

氦质谱检漏仪调氦峰步骤：1、调氦峰方法：开漏孔开关，单方向(从75~165V或从165~75V)调加速电压“V”，使氦质谱检漏仪放大器输出表指示值出现一个Zda值，然后关漏孔开关，如表头指示值变小，说明氦质谱检漏仪接收到氦信号，即找到氦峰；如表头指示值不变，说明不是氦峰，则继续调“V”，直到找到氦峰(出现氦的“V”一般在85~150V之间)。2、调氦峰分辨不好：①氦和重离子分辨差。②氦和轻离子分辨差。3、调氦峰信号小：①灯丝没正对电离盒上的电子入口。②灯丝离电离盒太远。③分辨不好。客制化氦检机注意事项

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