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氦质谱检漏仪性能试验方法：1、反应时间、消除时间及其测定，反应时间是指仪器节流阀完全开启，本底讯号为零(或补偿到零)时，由恒定的氦流量使输仪表讯号上升到值的(1-e-1)倍(即O.63)所需要的时间，记为τR。消除时间是指输出仪表讯号稳定到固定值后，停止送氦，其讯号下降到值的e-1倍(即O，智能氦检仪报价.37)所需要的时间，记为τC。2，智能氦检仪报价、工作真空、极限真空及入口处抽速，质谱室极限真空，智能氦检仪报价，尤其是工作真空及入口处抽速是表征仪器性能的重要参数。利用氦质谱检漏仪的真空规可以测定仪器的极限真空和工作真空。利用流量计可测定仪器入口处抽速。氦质谱检漏仪的本底噪声，一般指在2min内输出仪表的较大的波动量，能较方便地估计检漏效果。智能氦检仪报价

氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进人磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中常用的两种方法。国产氦检机一台多少钱氦质谱检漏仪应每隔一段时间保养油泵。

氦质谱检漏仪的灵敏度，通常指仪器的可检漏率。记为qL.min，即在仪器处于较佳工作条件下，以一个大气压的纯氦气为示漏气体，进行动态检漏时所能检测出的漏孔漏率。所谓“较佳工作条件”是指仪器参数调整到稳定值，被检件出气少且没有大漏孔等条件。所谓“动态检漏”是指检漏仪器本身的抽气系统仍在正常抽气。仪器的反应时间不大于3s。所谓“可检率”是指检漏讯号为仪器本底噪声的两倍时，才能认定有漏气讯号输出。所谓“漏孔漏率”是指一个大气压的干燥空气通过漏孔漏向真空侧的漏气速率。仪器本底噪声，一般指在2min内输出仪表的较大的波动量，能较方便地估计检漏效果。

氦质谱检漏仪定期保养该怎么做？1.对氦质谱检漏仪真空系统进行保养时，由于常见氦质谱检漏仪的真空系统部分由分子泵、前级机械泵组成，因此在常规检测时通常由前级机械泵对被检件预抽真空，当真空度达到规定压力后，再进入真空系统部分；被检件在检测前会被要求进行清洁前处理，以防止粉尘、颗粒物等污染物进入真空系统。否则将直接污染真空系统，甚至造成真空泵损坏。因此，对被检件的前处理以及对设备自身的保养清理十分重要。2.除了上述氦质谱检漏仪真空系统需要保养之外，还需要进行前级真空泵的定期换油及深度保养，以及电磁阀组的超声清洗，此外质谱模块组件的超声清洗以及分子泵也建议定期进行保养维护，避免因设备保养不及时导致设备使用寿命缩短。掌握和了解氦质谱检漏仪常见故障的维修技术，有利于检漏工作的顺利开展以及设备的保养。

氦质谱检漏仪检漏原理：当一个带电质点(正离子)以速度v进入均匀磁场的分析器中，如果速度v的方向和磁场H的方向相垂直，则它的运动轨迹为圆。当磁场的磁通密度一定时，不同质荷比(m/e)的离子在磁场中都有相应的运输半径，也就是都有相应的圆轨迹，这样，不同质荷比的带电粒子在磁场分析器中运动后就会彼此分开。如果在离大运动的路径中安置一块档板将其他离子档掉，而在对应的氦离子运动半径位置的档板上开一狭缝，狭缝后安置离子接收极，这样的只有氦离子才能通过狭缝而被接收极接收形成氦离子流，并经放大器放大后由测量仪表指示出来。检漏时，如果用氦气喷吹漏孔，氦气便通过漏孔进入检漏仪的质谱室中，使氦质谱检漏仪的测量仪表立即灵敏地反应出来，达到了检漏的目的。敏度、反应时间、消除时间、极限真空度及仪器入口处抽速是评价氦质谱检漏仪的主要性能指标。国产氦检机一台多少钱

检漏过程中，如发现大量氦气进人氦质谱检漏仪，应立即移去吸口。智能氦检仪报价

氦质谱检漏仪是180°磁偏转型的质谱分析计，其基本原理是根据离子在磁场中运动时，不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。检漏仪主要由质谱室、真空系统及电气控制部分组成。检漏工作时先打开抽空阀前级泵对检漏接口抽真空，当真空度P1优于200Pa时，打开入口阀1、2，关闭抽空阀，氦气将逆着分子泵的抽气方向进入质谱室中被检测出来，此时检漏仪的可检漏率为10-10Pa·m3/s。前级泵继续对检漏接口抽真空，当P1降至20Pa时，入口阀2关闭，入口阀3打开，分子泵的高抽速用于抽空试件，检漏仪的反应时间缩短，此时检漏仪的可检漏率为10-12Pa·m3/s。智能氦检仪报价

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