浙江模块式氦质谱检漏仪注意事项 上海妤林真空设备供应

氦质谱检漏仪的维护方法及常见故障的处理：一、机械维护，检查泵的油量，浙江模块式氦质谱检漏仪注意事项，如果低于低标线，浙江模块式氦质谱检漏仪注意事项，则加入泵油；如果变黑或浑浊，则更换泵。使用方法见机械泵说明书。二、清洗，泄漏探测器没有氦进入，但有一定的泄漏率指示，长期存在。这主要是由于检漏口，浙江模块式氦质谱检漏仪注意事项、波纹管、密封圈等被污染后吸附的氦气，在检漏时又被释放，造成较大的底部。为防止油污、粉尘和杂物进入氦质谱检漏仪，在氦质谱检漏仪下方设置过滤器，将其拆下，用酒精浸泡清洗。检查泄漏，用棉布擦拭波纹管。以下是常见的故障现象、原因及解决方法。断电：1.电源线连接不当；2、保险管熔断；3、重新接通电源；4.更换相同规格的保险管。氦质谱检漏仪需根据设备的使用频率、被测品工艺要求定期使用标准漏孔对设备自身进行校准。浙江模块式氦质谱检漏仪注意事项

氦质谱检漏仪检漏前用特定加压容器向被检件压入氦气(由压力和时间控制压入的量)，然后取出被检件，吹去表面吸附氦后放入特定检漏罐中，再将检漏罐联接到检漏仪的检漏口上，对检漏罐抽真空，实施检漏。自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜单选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。现今生产的氦质谱检漏仪，质量范围很宽，不但可检测氦气，而且能检测其它气体。氦质谱检漏仪的机械泵有足够的机械泵油；保证机体内分子泵、机械泵、真高空组件各连接顺畅；电源线线路没有破损，有良好的接地。浙江智能氦质谱检漏仪厂家氦质谱检漏仪坚固耐用，抗震性能好。

选择氦质谱检漏仪时主要考虑以下问题：（1）仪器的功能能满足检漏的要求。如有些仪器没有逆流检漏功能，就不适合用吸的法检漏；有些仪器没有报废漏率的设置功能，不宜作为批量产品筛选检漏用；流水线上要求一定的检漏速度，此时应选择有多工位的检漏仪。（2）仪器的灵敏度能满足检漏的要求。国内外生产的不同类型的氦质谱检漏仪的灵敏度是不一样的，如果检漏要求的灵敏度较高，就要认真选择。（3）被检件如果害怕油的污染，就应选择无油真空系统的检漏仪。（4）被检件容积如果较大，必须选用预抽泵抽速大的检漏仪，否则就要外加预抽泵。

氦质谱检漏仪作为一种测量仪器，需根据设备的使用频率、被测品工艺要求定期使用标准漏孔对设备自身进行校准，以保证设备自身检测精度。氦质谱检漏仪是对比性测试仪器，其工作原理是对进入质谱室的氦气分子电离，轰击靶心产生电离，并放大，通过电流大小的判断氦气分子的多少！进入质谱室氦气分子的比例（分流比），还有电气参数的不同，电流相同，漏率可能不同；或漏率不同，电流相同；所有检漏仪本身并不知道放大后的电流对应的漏率是多少，需要参照物，这个参照物就是标准漏孔。氦质谱检漏仪自身保养小知识：（1）前级真空泵的定期换油及深度保养；（2）电磁阀组的超声清洗；（3）质谱模块组件的超声清洗以及分子泵的定期保养维护。氦质谱检漏仪为气体工业名词术语。

氦质谱检漏仪的优点集中体现在以下几个方面：（1）便携式：很多小型便携式检漏仪不但灵敏度高，而且便于携带，给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。（2）高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。（3）自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜单选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。（4）全无油的干式检漏：有些国家生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。如果氦质谱检漏仪不是每天使用，建议每周开机检查一下。南京分体式氦质谱检漏仪

氦质谱检漏仪产品概述：产品外观：精心设计、外观新颖。浙江模块式氦质谱检漏仪注意事项

氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进人磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中比较常用的两种方法。氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了普遍应用。浙江模块式氦质谱检漏仪注意事项

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