安徽自动氦质谱检漏仪使用方法 上海妤林真空设备供应

氦质谱检漏仪灵敏度降低怎么维护？影响氦质谱检漏仪灵敏度的因素包括实际检测条件、辅助真空系统以及操作人员的技术等多方面。当发现检漏仪的灵敏度降低，而检漏仪的工作真空度状态良好，安徽自动氦质谱检漏仪使用方法，放大器的各级工作电压也符合标准要求，就基本上可以确定检漏仪灵敏度降低的问题来源于离子源的质谱分析管受到了严重污染，安徽自动氦质谱检漏仪使用方法。这个时候，就需要将检漏仪的离子源分析管道拆下来进行彻底的清洗。具体的清洗方法如下：先用细的高标号金相砂纸小心细致地擦洗分析管道的内表面及离子源各电极部件；然后用航空汽油和无水乙醇清洗，安徽自动氦质谱检漏仪使用方法，并用去离子水冲洗干净；然后用烘箱或电吹风进行干燥。如果操作正确，经过清洗维护后的氦质谱检漏仪的灵敏度可比清洗前提高2～3倍。氦质谱检漏方法是基于氦质谱检漏仪的氦分压测量原理。安徽自动氦质谱检漏仪使用方法

氦质谱检漏仪检漏前用特定加压容器向被检件压入氦气(由压力和时间控制压入的量)，然后取出被检件，吹去表面吸附氦后放入特定检漏罐中，再将检漏罐联接到检漏仪的检漏口上，对检漏罐抽真空，实施检漏。自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜单选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。现今生产的氦质谱检漏仪，质量范围很宽，不但可检测氦气，而且能检测其它气体。氦质谱检漏仪的机械泵有足够的机械泵油；保证机体内分子泵、机械泵、真高空组件各连接顺畅；电源线线路没有破损，有良好的接地。安徽自动氦质谱检漏仪使用方法氦质谱检漏仪主要技术参数：可检漏率：5×10-12Pa·m3/s。

氦质谱检漏仪的日常保养与维护：1.如果仪器不是每天使用，建议每周开机检查一下，使仪器高真空系统保持真空，缩短仪器使用时的开机时间。2.拆卸仪器部件（如离子源）后，安装时要避免安装部位出现泄漏，可用仪器进行自身检漏。3.适时对仪器可能出现的泄漏处（如放气阀等）进行自身检漏，发现漏点后要及时取下清洗或固紧，以免在检漏时干扰检漏工作。4.检漏仪维修每隔一段时间保养油泵。（散热口灰尘处理，和泵油的检查更换）。5.禁止任何外来物掉在或洒在检漏仪上，尤其是进气口中，由于氦检漏仪为高精度精密仪器，其存放和使用环境要保持干净、卫生。只有经过培训或有资格的设备维护工程师，才能使用此仪器。

氦质谱检漏仪是磁偏转型的质谱分析计。单级磁偏转型仪器灵敏度为lO-9～10-12Pam3/s，普遍地用于各种真空系统及零部件的检漏。双级串联磁偏转型仪器与单级磁偏转型仪器相比较，本底噪声明显减小.其灵敏度可达10-14～10-15Pam3/s，适用于超高真空系统、零部件及元器件的检漏。逆流氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局，被检件置于检漏仪主抽泵的前级部位，因此具有可在高压力下检漏、不用液氮及质谱室污染小等特点，适用于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏，其灵敏度可达10-12Pam3/s。氦质谱检漏仪是根据被检工件的不同它所使用的检漏方法也是不同的。

氦质谱检漏仪详细操作步骤：1、插上电源，打开氦质谱检漏仪总开关。等待2分钟，当听到一阵风鸣声之后说明氦质谱检漏仪已完全启动。2、查看氦质谱检漏仪装置确保检漏参数未被更改，氦质谱检漏仪运行正常。打开氦质谱检漏仪盲孔，选择合适大小的检漏托盘和密封橡胶板。用无尘布沾上酒精擦拭下密封孔处，把检漏托盘装在检漏口上，在放密封橡胶板时也要用沾上酒精的无尘布擦拭一遍；然后涂上一层高真空硅脂；Z后密封橡胶板对准检漏托盘中间的小孔紧密贴合放在检漏托盘上。3、组件检完之后再按下检漏按钮当待机按钮灯亮之后即可取下组件。氦质谱检漏仪的灵敏度，通常指仪器的可检漏率。上海氦质谱检漏仪注意事项

氦质谱检漏仪在充注检漏气体前，试件必须抽空。安徽自动氦质谱检漏仪使用方法

氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进人磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中比较常用的两种方法。氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了普遍应用。安徽自动氦质谱检漏仪使用方法

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