苏州检漏机 上海妤林真空设备供应

氦质谱检漏仪的校准方法：1、标准漏孔校准氦质谱检漏仪方法，采用标准漏孔对氦质谱检漏仪进行校准，将一系列经过校准的不同量级标准漏孔分别接入氦质谱检漏仪系统，实验室温度保持在23±1℃，可以读出一组标准漏孔漏率的检漏仪示值，从而得到标准漏孔漏率值与检漏仪示值的关系曲线，并通过对这条曲线进行数学拟合，得到氦质谱检漏仪全量程测量范围示值与漏率值之间的拟合公式。2、校准仪器的选择，为了满足氦质谱检漏仪现场校准，便于携带，真空标准漏孔选用薄膜渗氦型标准漏孔。薄膜渗氦型标准漏孔具有对污染不敏感；漏率可以做得很小；重复性、稳定性等计量特性好；对温度变化敏感，使用需要对漏率温度修正等特点。氦质谱检漏仪可用于管道，苏州检漏机，苏州检漏机、接头、阀门、波纹管，苏州检漏机、各种真空泵、各类排气机组等。苏州检漏机

如何正确使用氦质谱检漏仪？1.为了正确使用氦质谱检漏仪，在充入检漏气体前有必要对抽空样品进行预抽空。如果在填充前没有排空，试件中的空气将被挤压到几何空间的末端，氦气检漏设备中的气体不能进入该部分，因此潜在的检漏孔将只释放空气，检漏设备不能检测到这些检漏孔。2.检漏试验中的可检测泄漏率与检漏气体的背景浓度有很大关系，背景浓度越高，波动越大。如果泄漏测试后泄漏检测气体排放到泄漏检测区域，背景浓度将在整个工作日持续增加。此外，在加注或排放过程中，确保没有气体溢出，并定期检查连接件是否有泄漏。苏州检漏机严禁在高温的环境中使用氦质谱检漏仪。

为什么要使用氦质谱检漏仪进行检漏？很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力作用时，流进或流出这个空间，如真空设备(真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等)，需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。另外装液体或气体的容器(液压气瓶，氧气瓶，空调冰箱的雪种容器等等)，要求在容器内外存在压差的情况下，不能有气体或液体漏出。如果有漏，后果严重，一般会造成有效物资的浪费，如有毒物资、腐蚀性气体漏出，甚至会酿成事故。

氦质谱检漏仪维护保养方法：1、管理人员必须熟悉氦质谱检漏仪的性能及使用操作规程，健全大型设备技术档案，妥善保管一般设备的技术资料及使用说明书。2、定期维护和保养仪器，及时排除仪器故障，做好维护维修记录，大型设备每学期清洁、保养2-4次。3、保证仪器设备及配件的完整性，认真做好仪器的过往记录，做到帐、卡、物相符。4、定期进行通电检查，发现有跳火、冒烟、炸响、异味等现象时，要立即关机，报主管人员，防止因短路损坏仪器，延长仪器的使用寿命。5、使用前必须熟读使用说明书。适时对氦质谱检漏仪可能出现的泄漏处(如放气阀)进行清洗，排除漏点。

氦质谱检漏仪的维护保养应该怎么做？1、要保证检测结果不受影响，氦质谱检漏仪的流量要注意，数值不能过大也不能过小一帮情况下是30/h，我们要防止氦质谱检漏仪测定的不准确，对于浓度测量范围测试时一定要在测定的范围内进行测试。2、不要进行敲击或者猛烈地摇晃机器，也不是摔落或者过度的使用。要时常查看一下密封圈是不是完好无损的，有没有损坏四通阀和冷凝气，还要查看抽气泵的膜片是不是完好的，这样可以防止氦质谱检漏仪系统中有漏气现象。3、要定期进行滤纸更换，在传感器规定时间内使用，不同的传感器之间可能会有干扰要注意还要注意电磁的干扰。防止元件的老化，及时更换零件。氦质谱检漏仪自身的能力和使用情况的直接影响到了设备的检测准度。国产检漏仪定制

影响氦质谱检漏仪灵敏度的因素包括实际检测条件、辅助真空系统以及操作人员的技术等多方面。苏州检漏机

氦质谱检漏仪漏率的校准方法：一、环境条件，校准环境温度为(23±5)℃，校准过程中室温变化不超过±1℃，环境相对湿度不大于80%。校准设备周围应无明显的温差、气流和强电磁场等外部干扰。环境温度要控制在23℃附近，因为标准漏孔的出厂标称漏率对应的环境温度一般为23℃。二、标准器的选择，标准器采用渗氦型标准漏孔，漏率标称值在(10-6～10-10)Pa·m3/s，不确定度不大于10%。精密玻璃温度计，测量范围(0～50)℃，不确定度U=0.04℃，k=2。苏州检漏机

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