杭州真空氦质谱检漏仪工作原理 上海妤林真空设备供应

氦质谱检漏仪进展集中体现如下方面：1.智能化：以往的氦质谱检漏仪操作非常辅助，而现在的触屏式，自动检测。2.便捷化：这几年市场上各种小型便捷的检漏仪能够为行业提供小巧而灵敏性高的设备。3.自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，杭州真空氦质谱检漏仪工作原理，可外接打印机。整机由微机控制，杭州真空氦质谱检漏仪工作原理，菜单选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。4.全无油的干式检漏：有些国家生产的检漏仪，可采用干式泵，杭州真空氦质谱检漏仪工作原理，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。5.检漏范围宽：现今生产的检漏仪，质量范围很宽，不但可检测氦气，而且能检测其它气体。以往的氦质谱检漏仪操作非常辅助，而现在的触屏式可自动检测。杭州真空氦质谱检漏仪工作原理

氦质谱法检漏方法可分为真空法、正压法、真空压力法和反压法。灵敏度、反应时间、消除时间、工作真空度、极限真空度及仪器入口处抽速是评价氦质谱检漏仪的主要性能指标。氦质谱检漏仪的灵敏度，通常指仪器的可检漏率。记为qL.min，即在仪器处于较佳工作条件下，以一个大气压的纯氦气为示漏气体，进行动态检漏时所能检测出的漏孔漏率。所谓“较佳工作条件”是指仪器参数调整到合适的值，被检件出气少且没有大漏孔等条件。所谓“动态检漏”是指检漏仪器本身的抽气系统仍在正常抽气。质谱室极限真空，尤其是工作真空及入口处抽速是表征仪器性能的重要参数。南京移动式氦质谱检漏仪单位氦质谱检漏仪质量范围很宽，不但可检测氦气，而且能检测其它气体。

氦质谱检漏仪常见的检漏法：1、负压法检漏，负压法检漏是将被检件接到检漏仪的检测口，连续向可疑的漏孔喷射示踪气体，示踪气体通过漏孔进入检漏仪并被检测。一般电子器件的外壳、高压开关管、氧化锌、避雷器等都应采用这种方法检漏。2、正压法检漏，正压法检漏与负压法检漏相反，吸口接在检漏仪的检测口，而被检件充入规定压力的示踪气体，漏孔泄漏出来氦气被吸入检漏仪被检测。大型容器或内部放气管量很大的容器做负压检漏很不经济，而且检漏速度慢，一般采取正压检漏。3、压氦法检漏，压氦法检漏是将压有一定压力的示踪气体的被检件放入检漏夹具中，然后连至检漏仪将其抽空，示踪气体通过漏孔泄漏出来，经检漏仪检测总泄漏量。

氦质谱检漏仪常用的检漏方法：1、喷氦法，这是比较常用的一种方法，一般用于检测体积相对较小的部件，将被检器件和仪器连通，在抽好真空后，在被检器件可能存在漏孔的地方(如密封接头，焊缝等)喷氦，如果被检器件某处有漏孔，当氦喷到漏孔上时，氦气立即会被吸入到真空系统，从而扩散到质谱室中，氦质谱检漏仪的输出就会立即有响应。2、吸氦法，吸氦法主要用于检查某些大型密封容器。如导弹弹体、弹头、气罐、油罐等，先将容器抽真空，再给容器充入氦气(为了节省用氦量，可以用低浓度氦气)，在氦质谱检漏仪的进气法兰处接上橡皮管，橡皮管的前端有直径很小的毛细管，使毛细管在充了氦的被检容器外壁的焊缝和密封接头等处移动，如果该容器有漏隙，经漏隙渗出的氦会被毛细管吸入，检漏仪就会响应。氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。

选择氦质谱检漏仪检漏方法的原则：1、主要根据被检漏设备的允许漏率为依据，由于一个设备的允许漏率是很多漏孔漏率的综合体现。为找到一个单个漏孔，所选择检漏方法的检漏灵敏度就要高于允许漏率1-2个数量级。如一个设备的允许漏率为10-11w，而必须选用的氦质谱检漏仪灵敏度为10-12∽10-13W。2、根据具体被检对象，所用方法简便易行，经济实用。低噪声、低振动，设备坚实牢固；性能可靠，操作简便，造型美观，售后服务周到；自保护功能，防止本底被污染；检漏效率高，带故障提示和报警功能。氦质谱检漏仪能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。南京移动式氦质谱检漏仪单位

了解工件的漏孔问题是选择氦质谱检漏仪的必要条件。杭州真空氦质谱检漏仪工作原理

氦质谱检漏仪的应用范围：在一般工业领域里原子能、发电厂、配电站、合成氨的氮肥生产厂、汽车制造业、造船工业、制冷工业、冶金工业、输气管道、气罐、油罐、锅炉快餐食品包装等都离不开检漏问题。氦质谱检漏仪的功能特点：1、支持正压检漏，负压检漏。2、自动跟踪本底，提供快速可靠的测量结果。3、优化设计的质谱系统和智能算法确保在所有量程快速响应。4、高可靠性的真空系统和质谱系统确保快速清氦。5、支持氮气破空，不受环境氦气干扰，快速降低本底。6、机器的性能支持长时间在线测试。7、机器的性能支持几秒一次的高频率测试。杭州真空氦质谱检漏仪工作原理

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