无锡国产氦质谱检漏仪单位 上海妤林真空设备供应

检漏仪的维护保养常识：适当的维护您的检漏仪是非常必要的，具体步骤如下：1、探头清洁：利用附送的防护罩防止灰尘、水汽、油脂阻塞探头，在使用本仪器前，均要检查探头和防护罩确无灰尘或油脂。2、拉下防护罩；3、用工业毛巾或压缩空气清洁防护罩；4、如果探头本身也脏，可浸入像酒精等温和清洗剂几秒钟，然后用压缩空气或工业毛巾清洁，严禁用像汽油、松节油、矿物油等溶剂，这样易降低仪器灵敏度。5、探头更换：探头用久了总要失效，需更换。由于探头寿命直接和使用条件和频次相关，无锡国产氦质谱检漏仪单位，无锡国产氦质谱检漏仪单位，因此较难预计准确的更换时间，无锡国产氦质谱检漏仪单位。当在清洁、纯净空气中报警或不稳定时，应更换探头。氦气喷射法和氦气吸收法是电阻炉氦质谱检漏仪常用的两种检漏方法。无锡国产氦质谱检漏仪单位

氦质谱检漏仪的主要性能指标：1、可检漏率：即氦质谱检漏仪所能检出的漏孔的漏率。2、响应(消除)时间：指一定流量的探索气体进入氦质谱检漏仪后，电子和真空系统需要一定的响应时间，漏率指示才能达到较大值；反之，停止供气后，漏率指示不能立即回零，需要一定时间的下降过程，通常由于氦气的吸附和脱附作用，消除时间稍长于响应时间。3、启动时间：指氦质谱检漏仪自接通电源到能进行检漏的时间。要注意使用的环境。标准漏孔的生产、检测，都是在20-25℃的室温下进行。尤其有些标准漏孔，对温度特别敏感。温度每变化1℃，标准漏孔的漏率就有3%以上的误差。例如，夏天，室温达到30℃，这种标准漏孔的漏率误差增加30%。无锡国产氦质谱检漏仪氦检模块氦质谱法检漏方法可分为真空法、正压法、真空压力法和反压法。

氦质谱检漏仪虽然是因为选用氦气作为示漏气体而得名，但实际上涉及的示漏气体包括氦气、氢气等，主要的是氦气。而之所以选择氦气作为主要的示漏气体，原因主要有以下几点：1、氦气的质量轻，易于穿过漏孔，进入系统时流动和扩散快，因此响应快，检漏灵敏度高。2、氦离子质荷比小，因此可以减小磁分析器偏转半径的尺寸和选用较弱一点的磁场。同时一阶氦离子的质荷比与一阶氢离子、二阶碳离子相差较大，利于离子分离，可以适当降低对分析器制造精度的要求，使质谱室中氦离子通过的各个缝隙，从而提高氦离子的传输率。3、氦在空气中及残余气体中的含量少，在材料出气中氦气也很少，因此本底压力小，检漏时本底信号小。

氦质谱检漏仪日常维护：1、工件要保持清洁、干燥。2、对工件喷氦应按以下顺序进行：①从上往下。②从靠近测试口到远离测试口。3、喷氦时应经常检查喷口是否有氦气喷出。4、检完工件，必须将“节流阀”关闭，才能取工件。5、对同一工件，如有两处以上漏点，应排除大的漏点后，再对其它地方检漏。6、装工件时应使连接处密封好，不能有漏。7、检漏间应通风良好，避免氦气浓度增高，但应避免强通风。8、氦气属贵重气体，应避免泄漏浪费。9、定期更换灯丝，清洗冷规。10、适时对氦质谱检漏仪可能出现的泄漏处(如放气阀)进行清洗，排除漏点。氦质谱检漏仪能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。

氦质谱检漏仪是由离子源、分析器、收集器、冷阴极离子仪等组成的质谱室、抽气系统及电气部分等组成。氦质谱检漏仪是一种用氦气作为示漏气体进行泄漏检测的特定仪器，具有性能稳定、灵敏度高等特点。在真空检漏技术中，采用的是通用型检漏仪器，具有较高的灵敏度。氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。此检测方法使用的示踪气体选择了氦气，氦气具有质量数小重量轻并且有渗透能力强的优点，达到了细检漏的目的。氦质谱检漏仪特点：1.检测时间和周期非常短，可以达到5s以内；2.检测的介质比较常用，只需压缩空气即可；3.不会受到主观因素判断的影响；4.检测的数据精确。氦质谱检漏仪应在施工工作完成后进行本测试。无锡国产氦质谱检漏仪氦检模块

氦质谱检漏仪具有性能稳定、灵敏度高的特点。无锡国产氦质谱检漏仪单位

氮氢检漏仪与氦质谱检漏仪有什么不同？氮氢检漏仪与氦质谱检漏仪均属于示踪气体检漏仪，氮氢检漏仪使用95%的氮气加5%的氢气，氦质谱检漏仪使用的是氦气，众所周知，氢和氦是自然界中二种分子量较小的物质，氢很活泼，氦是惰性气体。氮氢检漏仪是通过测试氮氢混合气中的氢气泄漏量来测试泄漏的大小，氦质谱检漏仪是通过测试氦气的泄漏来测试泄漏的大小。这两种方法均是属于较高精度的微泄漏检测方法。氦质谱检漏仪一般由质谱管，真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源，质量分析器和离子检测器；真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并聚焦成束，以一定能量注入质分析器。无锡国产氦质谱检漏仪单位

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