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ROHS检测仪就是X射线荧光光谱仪，其分析原理也就是X射线荧光光谱仪的分析原理。X射线荧光光谱仪通常可分为两大类，波长色散X射线荧光光谱仪(WDXRF)和能量色散X射线荧光光谱仪(EDXRF)，波长色散光谱仪主要部件包括激发源、分光晶体和测角仪、探测器等，而能量色散光谱仪则只需激发源和探测器和相关电子与控制部件，相对简单。 波长色散X射线荧光光谱仪使用分析晶体分辨待测元素的分析谱线，根据Bragg定律，通过测定角度，即可获得待测元素的谱线波长： nλ=2dsinaθ （n=1,2,3…） 式中 ，λ为分析谱线波长；d为晶体的晶格间距；θ为衍射角；n为衍射级次。利用测角仪可以测得分析谱线的衍射角，利用上式可以计算相应被分析元素的波长，从而获得待测元素的特征信息。
RoHS检测仪目前市场上常见的类型是X射线荧光分析仪，又分为能量色散型和波长色散型，能量色散型因其技术原理及结构比波长色散型简单，现市场上比较常见，其技术原理： 特征X射线 放射性同位素源或X射线发生器放出的X射线或Γ射线与样品中元素的原子相互作用，逐出原子内层电子。当外层电子补充内层电子时，会放射该原子所固有能量的X射线-特征X射线。 元素含量与特征X射线强度的关系 不同元素特征X射线能量各不相同，依此进行定性分析；再根据特征X射线强度大小，可进行定量分析。 可用函数关系式表示为：C=f(k1I1, k2I2, k3I3...) 式中：Kn(n=1,2,3…)表示第n号元素的待定系数 In(n=1,2,3…)表示第n号元素释放的特征X射线强度 由此可知只要通过标定确定系数Kn之后便可进行物质中元素的定量分析了。
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