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性能可用量程：大0-5000slpm；小0-0.5sccm/0-500sμlm（欲了解常备量程，参见零件编号标签）可调比：200:1（MC系列）或100:1（MCS系列）标准精度（NIST可溯源）：±（0.8%读数+0.2%满量程）高精度（选配，NIST可溯源）：±（0.4%读数+0.2%满量程）可重复性：0.2%满量程标准质量流量控制器响应时间常数：50-100ms（若有PID调节功能，可缩短至25ms）无需预热时间工作条件兼容气体：98（MC系列）或130（MCS系列）种预置可选气体；利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体工作温度：-10°C至+60°C大内部压力（静态）：145psig（160psia）耐受压力：175psig（190psia）包装清单MC系列气体质量流量控制器（电源需另行订购）NIST可溯源校准证书艾里卡特操作说明书

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