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超低膨胀微晶玻璃，一般指膨胀系数为一10~1011017/℃的微晶玻璃。属于Li2O-Al2O3-SiO2系统，具有优异的耐温剧变和耐高温性能。 超低膨胀微晶玻璃是运用高均匀的熔解技能和结晶操控技能，浙江**超低膨胀微晶玻璃制造，经本公司多年研制而成的超低膨胀微晶玻璃产品。 经过紧密调整玻璃成分组合、筛选出的结晶大小以及筛选量，其热特性、机械特性和化学特性均得到明显地进步，是具有优越特性的材料。 超低膨胀微晶玻璃是由各种纯洁的天然石英(如水晶，浙江**超低膨胀微晶玻璃制造、石英砂等)熔化制成。线膨胀系数极小，浙江**超低膨胀微晶玻璃制造，是普通玻璃的1/10-1/20,有很好的抗热震性。它的耐热性很高，常常运用温度为1100~ 1200摄氏度，短期运用温度可达1400摄氏度。石英玻璃首要用于实验室设备和特殊高纯产品的提炼设备。由于它具有高的光谱透射，不会因辐射线损伤(其他玻璃受辐射线照射后会发暗)，因而也是用于宇宙飞船、风洞窗和分光光度计光学系统的理想玻璃。
1、离子源清理和中和器灯丝更换较频繁； 2、一般镀膜速率较慢，每秒几十埃； 3、不适宜制备较大面积薄膜。 三、机器运行时的注意事项 1、关注真空度指标； 2、保持机器内舱各部位的清洁； 3、测试并记录镀好的石英振子主要指标，如：频率、电阻、DLD等； 4、溅镀后的石英振子要用3M胶带检查其牢固度； 5、根据镀出石英振子的散差，调整遮挡板的各部尺寸； 6、检查并记录抽真空的时间，如有延长，立刻检查造成的原因； 7、将不良品挑出：电极错位、划伤、脏污、掉银等。
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