[VIP第1年] 指数:3
纯度是石英玻璃的重要指标，对理化功能和使用功能影响甚大，如失透性，广东石英玻璃、高温石英玻璃强度，广东石英玻璃、软化点、光的传导、热稳定性、化学稳定性、耐辐射性，广东石英玻璃、荧光特性等；此外，用于半导体工业的石英玻璃，对纯度的要求更为苛刻，微量的杂质将给半导体材料的电功能和寿数以及集成度带来严重的影响。由于半导体材料的纯度要求控制在ppb数量级以下，因而石英玻璃则应控制在PPm数量级以习惯半导体工业的需求。B的分凝系数近于1,相当难除掉，是相当有害的杂质之一，Cu、Fe、Ti等影响半导体的少子寿数，K、Na、Li是单晶材料发生微缺点的有害杂质。
1、离子源清理和中和器灯丝更换较频繁； 2、一般镀膜速率较慢，每秒几十埃； 3、不适宜制备较大面积薄膜。 三、机器运行时的注意事项 1、关注真空度指标； 2、保持机器内舱各部位的清洁； 3、测试并记录镀好的石英振子主要指标，如：频率、电阻、DLD等； 4、溅镀后的石英振子要用3M胶带检查其牢固度； 5、根据镀出石英振子的散差，调整遮挡板的各部尺寸； 6、检查并记录抽真空的时间，如有延长，立刻检查造成的原因； 7、将不良品挑出：电极错位、划伤、脏污、掉银等。
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