苏州平面度激光干涉仪性能 苏州千宇光学科技供应

激光器输出的纵模间隔为：ΔVL=C/(2nL0)，式中C为光速，n为激光器腔内折射率，L0为激光器的腔长。选择激光器腔长，使其在多普勒带宽之内主要有二个纵模输出，可得到高频差的双频激光，苏州平面度激光干涉仪性能，例如选择腔长220mm，可得到频差为680MHz的双频激光。双纵模激光干涉仪采用等强度的稳频方法，由于频差大，原理上可以达到极高的测量速度，苏州平面度激光干涉仪性能，但是高频差也使光电接受、信号处理更为困难。激光干涉仪是以波长作为测量基准的，大频差造成的两束光的波长差别是不能忽略的，可以计算，在频差为680MHz时，可以引起的误差。因此必须确认产生多普勒频移的激光波长作为测量的基准，苏州平面度激光干涉仪性能。也由于此，双纵模激光干涉仪也难以应用在角度测量，直线度测量这样的利用差动原理的测量项目。光学镜片检测、光学组件检测，相机镜头检测，安防镜头和车载镜头检测。苏州平面度激光干涉仪性能

激光干涉仪小科普：两个透明玻璃条的一端夹着纸片，两块玻璃构成一个劈尖，二个表面间形成一层空气薄膜，然后用单色激光从劈尖上方垂直照射，于是下层玻璃的上表面会反射激光，入射光和反射光就会产生干涉现象。现在来观察条纹形状；若干涉条纹是均匀的、平行等间隔的直条纹，则说明两个玻璃片是平行的；若干涉条纹呈现弯曲，则从条纹变异的情况可以推知待测表面偏离平面的情况；还可以测出夹角，测出纸片厚度。光具有三个重要特性：·激光波长非常稳定，可以满足精密测量的要求。·激光波长非常短，可以用于高精度测量。·激光具有干涉特性。 苏州光学平面激光干涉仪概念覆盖多口径，具备模块化，高精度，高效率，100%无损，抗干扰性能强等特点。

激光干涉仪是精度比较高的线性位移测量仪器，其光波可以直接对米进行定义，可溯源至国家标准。但是我们在使用中往往会出现检测偏离值，偏离我们的预估，以至于在高精度检测时，对设备产生怀疑。***我们来扒一扒引起激光干涉仪测量误差的部分原因。

1、 阿贝误差：测量光学镜组的安装高度不在被测设备的运动轴上引起的测量误差称之为阿贝误差。产生的原因是设备移动时存在俯仰、扭摆差，因此光学镜组与运动轴偏置距离越远，引起的阿贝误差越大。

激光具有**度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。常用来测量长度的干涉仪。以激光波长为已知长度、利用迈克耳逊干涉系统(见激光测长技术)测量位移的通用长度测量工具。

激光干涉仪有单频的和双频的两种。单频的是在20世纪60年代中期出现的,**初用于检定基准线纹尺,后又用于在计量室中精密测长。双频激光干涉仪是1970年出现的，它适宜在车间中使用。激光干涉仪在极接近标准状态(温度为20℃、大气压力为101325帕、相对湿度59%、CO2含量0.03%)下的测量精确度很高，可达1×10-7。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。 光学组件和系统透射波前精度测量、光学系统的装调和校准等。

氦氖激光器上有磁体。磁体为筒形，激光器上加的是纵向磁场，称为纵向塞曼双频激光器。四分之一波长（λ/4）片把激光器输出的左旋和右旋光变成偏振态互相垂直的线偏振光。前文所说的双折射-塞曼双频激光器则是在激光器内置入双折射元件（图内未画出），并加图2所示的磁条。双折射元件使激光器形成双频，横向磁场消除两个频率之间的耦合。双折射-塞曼双频激光干涉仪不需使用四分之一波长片。双频激光器是双频激光干涉仪的**，很大程度上，它的性能决定激光干涉仪的性能，要求波长（频率）精度高，功率大，寿命长，双频间隔（频差）大且稳定，偏振状态稳定，两频率之间不偏振耦合。这一问题的解决是作者较突出的贡献之一。航空航天成像系统检测，超精密机械件检测，科研和高等教学仪器等众多领域。苏州平面度激光干涉仪性能

激光干涉仪光源波长：632.8nm。苏州平面度激光干涉仪性能

双频激光干涉仪的工作原理：在氦氖激光器上，加上一个约0.03特斯拉的轴向磁场。由于塞曼分裂效应和频率牵引效应，激光器产生1和2两个不同频率的左旋和右旋圆偏振光。经1/4波片后成为两个互相垂直的线偏振光，再经分光镜分为两路。一路经偏振片1后成为含有频率为f1-f2的参考光束。另一路经偏振分光镜后又分为两路：一路成为*含有f1的光束，另一路成为*含有f2的光束。当可动反射镜移动时，含有f2的光束经可动反射镜反射后成为含有f2 ±Δf的光束，Δf是可动反射镜移动时因多普勒效应产生的附加频率，正负号表示移动方向(多普勒效应是奥地利人C.J.多普勒提出的，即波的频率在波源或接受器运动时会产生变化)。苏州平面度激光干涉仪性能

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