激光干涉技术在超精密加工制造,精密定位控制和基础科学测量等领域具有重要价值。目前国际上测量精度比较高的干涉仪就是用于引力波探测的激光干涉仪,江苏平面平晶检测激光干涉仪产品介绍。叶贤基教授围绕空间引力波探测技术,详细介绍了高精度星间激光干涉测量的基本原理、关键技术及其发展现状。星间激光干涉测量是一种长基线高精度的位移测量方法,江苏平面平晶检测激光干涉仪产品介绍,当星间距达到十万公里之百万公里时就要求在接收光功率为皮瓦至纳瓦级弱光条件下,江苏平面平晶检测激光干涉仪产品介绍,实现皮米级位移测量精度。为了实现高精度星间干涉测量,需要发展一系列关键技术,包括星载激光稳频技术、精密相位测量以及弱光锁相技术、星间激光光束指向控制技术。激光干涉仪标准平面镜精度:λ/20 PV。江苏平面平晶检测激光干涉仪产品介绍
双频激光干涉仪是应用频率变化来测量位移的,这种位移信息载于f1和f2的频差上,对由光强变化引起的直流电平变化不敏感,所以抗干扰能力强。它常用于检定测长机、 三坐标测量机、光刻机和 加工中心等的坐标精度,也可用作测长机、高精度三坐标测量机等的测量系统。利用相应附件,还可进行高精度 直线度测量、平面度测量和小角度测量。
激光干涉仪应用 (1)几何精度检测 可用于检测直线度、垂直度、俯仰与偏摆、平面度、平行度、球面测量、曲率半径测量、角锥角度、光学材质均匀性测量等 江苏平面平晶检测激光干涉仪产品介绍柱面类(凸面、凹面、不同F数)光滑表面面形测量。
基于声光移频的双频激光干涉仪的激光头简图,双纵模稳频的激光器输出激光,由检偏器P抑制一个纵模输出,线偏振的单频激光以Bragg角θ入射到声光频移器,衍射的0级输出保持原频率f1和原方向,1级输出偏转一个(-θ)角,并产生频移,频移后的频率变为f2,此频移(f2-f1)是声光偏转器中的声波频率,也即由晶体振荡器产生的驱动频率。0级光和1级光经过一个双折射棱镜各自按照偏振方向分离,通过一个孔栏A得到了同轴的,具有频差(f2-f1)的,偏振方向相互垂直的双频激光。
激光具有**度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。常用来测量长度的干涉仪。以激光波长为已知长度、利用迈克耳逊干涉系统(见激光测长技术)测量位移的通用长度测量工具。
激光干涉仪有单频的和双频的两种。单频的是在20世纪60年代中期出现的,**初用于检定基准线纹尺,后又用于在计量室中精密测长。双频激光干涉仪是1970年出现的,它适宜在车间中使用。激光干涉仪在极接近标准状态(温度为20℃、大气压力为101325帕、相对湿度59%、CO2含量0.03%)下的测量精确度很高,可达1×10-7。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作,并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作 计量检测,光学镜片检测、光学组件检测,手机背板和相机镜头检测。
双频激光干涉仪的工作原理:在氦氖激光器上,加上一个约0.03特斯拉的轴向磁场。由于塞曼分裂效应和频率牵引效应,激光器产生1和2两个不同频率的左旋和右旋圆偏振光。经1/4波片后成为两个互相垂直的线偏振光,再经分光镜分为两路。一路经偏振片1后成为含有频率为f1-f2的参考光束。另一路经偏振分光镜后又分为两路:一路成为*含有f1的光束,另一路成为*含有f2的光束。当可动反射镜移动时,含有f2的光束经可动反射镜反射后成为含有f2 ±Δf的光束,Δf是可动反射镜移动时因多普勒效应产生的附加频率,正负号表示移动方向(多普勒效应是奥地利人C.J.多普勒提出的,即波的频率在波源或接受器运动时会产生变化)。激光干涉仪有: 无应力平面检测干涉仪, 无应力平面检测干涉仪,现场高效球面检测干涉仪。江苏大口径激光干涉仪技术参数
现场高效球面检测干涉仪是一种高性能模块化组合检测干涉仪。江苏平面平晶检测激光干涉仪产品介绍
现场高效球面检测干涉仪(数字化相移分析系列)是一种高性能模块化组合检测干涉仪。它采用国内外**的组合式激光干涉模块作为**部件,主要用于检测高精度快速球面和曲率半径球面面形。通过模块化的设计理念,针对不同的光源、镜头口径、成像方式,不仅在测量过程中拆卸方便,也可适用于多种被测面的测量,**降低检测成本。通过慧利仪器**软件,可对被测对象实时采样和分析,并形成2D和3D图形。应用领域:光学镜片检测、光学组件检测,相机镜头检测,安防镜头和车载镜头检测,航空航天成像系统检测,超精密机械件检测,科研和高等教学仪器等众多领域。不同F数的球面类(凸面、凹面)光滑表面面形测量;不同F数的柱面类(凸面、凹面)光滑表面面形测量;非球面类(凸面、凹面)光滑表面面形测量;光学组件和系统透射波前精度测量。材料包括各类玻璃、塑料、陶瓷等,内容包括表面光圈、局部形变的测量、球面曲率半径的测量等。江苏平面平晶检测激光干涉仪产品介绍
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