苏州组合式激光干涉仪性能 苏州千宇光学科技供应

干涉仪可以分成波前分解和幅度分解两类， 其差异在于是否利用波前上不同位置的子波源形成干涉。干涉仪的应用极为***，主要有如下几方面：长度测量在双光束干涉仪中，苏州组合式激光干涉仪性能，若介质折射率均匀且保持恒定，则干涉条纹的移动是由两相干光几何路程之差发生变化所造成，根据条纹的移动数可进行长度的精确比较或***测量。迈克耳孙干涉仪和法布里-珀**涉仪曾被用来以镉红谱线的波长表示国际米，苏州组合式激光干涉仪性能，苏州组合式激光干涉仪性能。折射率测定两光束的几何路程保持不变，介质折射率变化也可导致光程差的改变，从而引起条纹移动。 激光干涉仪测试项目：光学材质均匀性。苏州组合式激光干涉仪性能

无应力平面检测干涉仪（数字化相移分析系列）是高性能模块化组合检测干涉仪中的一种，它采用国内外**的组合式激光干涉仪作为**部件，主要用于高效检测高精度平面，该产品包括光源、主机、成像以及镜头和相移等四大模块，主要技术指标已达到国际前列水平，采用更加简便操作的俯式测量，其拥有极高的***测量精度PV和***测量重复性RMS，并突破了一等平面平晶限制，且其采样点可达上百万像素，能客观反映被测平面全貌。不仅测量精度高，而且具有极高的测量效率。此款干涉仪可广泛应用高精度光学元件制造、计量检测、生物医学、航空航天、**、微电子、能源等众多领域，具有广阔的市场前景。江苏斐索型激光干涉仪供应商通用组合水平式干涉仪具有良好的抗振性能，可以在有空气扰动，轻微振动的环境下检测。

激光干涉仪是以干涉测量法为原理，利用激光作为长度基准，对数控设备（加工中心、三坐标测量机等）的位置精度（定位精度、重复定位精度等）、几何精度（俯仰扭摆角度、直线度、垂直度等）进行精密测量的精密测量仪器。激光具有三个重要的特性：①波长稳定②波长短③具有干涉性。光的相长干涉和相消干涉：一个角锥反射镜紧紧固定在分光镜上，形成固定长度参考光束。另一个角锥反射镜相对于分光镜移动，形成变化长度测量光束。从激光头射出的激光光束①具有单一频率，标称波长为633nm，长期波长稳定性（真空中）优于0.05ppm。当此光束到达偏振分光镜时，被分成两束光——反射光束②和透射光束③。这两束光被传送到各自的角锥反射镜中，然后反射回分光镜中，在嵌于激光头中的探测器中形成干涉光束④。如果两光程差不变化，探测器将在相长干涉和相消干涉的两端之间的某个位置观察到一个稳定的信号。

现场高效球面检测干涉仪（数字化相移分析系列）是一种高性能模块化组合检测干涉仪。它采用国内外**的组合式激光干涉模块作为**部件，主要用于检测高精度快速球面和曲率半径球面面形。通过模块化的设计理念，针对不同的光源、镜头口径、成像方式，不仅在测量过程中拆卸方便，也可适用于多种被测面的测量，**降低检测成本。通过慧利仪器**软件，可对被测对象实时采样和分析，并形成2D和3D图形。应用领域：光学镜片检测、光学组件检测，相机镜头检测，安防镜头和车载镜头检测，航空航天成像系统检测，超精密机械件检测，科研和高等教学仪器等众多领域。不同F数的球面类（凸面、凹面）光滑表面面形测量；不同F数的柱面类（凸面、凹面）光滑表面面形测量；非球面类（凸面、凹面）光滑表面面形测量；光学组件和系统透射波前精度测量。材料包括各类玻璃、塑料、陶瓷等，内容包括表面光圈、局部形变的测量、球面曲率半径的测量等。CCD分辨率：1280*960像素。

激光干涉仪的应用一般说来，激光干涉仪的主要用途是测量目标的运动状态，即目标的线性位移大小、旋转角度（滚转、俯仰和偏摆）、直线度、垂直度、两个目标在运动的平行性（度）、平面度等。无论光刻机的机台，还是数控机床的导轨（包括激光加工机床），不论是飞行物，还是静止物的热膨胀、变形，一旦需要高精度，都要用激光干涉仪测量，得到目标的运动状态。运动状态由多个参数给出。以光刻机两维运动中的一个方向运动时为例，位移（走过的长度）、机台位移过程中的偏转（角）、俯仰（角）和滚转（角）都需要测出。很多类型的设备需要测量，如各类机床、三坐标测量机、机器人、3D打印设备、自动化设备、线性位移平台、精密机械设备、精密检测仪器等领域的线性测量。球面类光学元表面光圈、局部形变的测量、球面曲率半径的测量等。江苏大口径激光干涉仪联系方式

激光干涉仪标准平面镜精度：λ/20 PV。苏州组合式激光干涉仪性能

激光干涉仪测量利用的是迈克尔逊干涉原理：(1)从SJ6000激光干涉仪主机出射的激光束（圆偏振光）通过分光镜后，将分成两束激光（线偏振光）；(2)两束激光分别经由角锥反射镜A和角锥反射镜B反射后平行于出射光（红色线条）返回，通过分光镜后进行叠加，由于两束激光频率相同、振动方向相同且相位差恒定，即满足干涉条件；(3)角锥反射镜B每移动半个激光波长的距离，将会产生一次完整的明暗干涉现象。测量距离等于干涉条纹数乘以激光半波长。苏州组合式激光干涉仪性能

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