由于双频激光干涉仪是交流系统,具有优异的系统增益和抗干扰能力,不存在直流漂移,所以从1970年HP公司推出***台基于纵向塞曼效应的双频激光干涉仪后,在相当时期内,这种系统垄断了激光干涉仪市场。外差式激光干涉议的测量速度受到两束光的频差大小限制,根据前述的多普勒效应方程式可得到:Δf≈3.3V。在塞曼效应的激光器中,频差高到一定程度,模牵引效应消失,频差也消失。这也是基于塞曼效应效的双频激光干涉议的测量速度难以提高的原因,江苏斐索型激光干涉仪性能。一般,横向塞曼效应产生激光频差一般在几百kHz以内,江苏斐索型激光干涉仪性能,纵向塞曼效应产生的激光频差可以达到3,江苏斐索型激光干涉仪性能.4〜4MHz。不同F数的柱面类(凸面、凹面)光滑表面面形测量。江苏斐索型激光干涉仪性能
当可动反射镜移动时,含有f2的光束经可动反射镜反射后成为含有f2±Δf的光束,Δf是可动反射镜移动时因多普勒效应产生的附加频率,正负号表示移动方向(多普勒效应是奥地利人C.J.多普勒提出的,即波的频率在波源或接受器运动时会产生变化)。这路光束和由固定反射镜反射回来*含有f1的光的光束经偏振片2后会合成为f1-(f2±Δf)的测量光束。测量光束和上述参考光束经各自的光电转换元件、放大器、整形器后进入减法器相减,输出成为*含有±Δf的电脉冲信号。经可逆计数器计数后,由电子计算机进行当量换算(乘1/2激光波长)后即可得出可动反射镜的位移量。双频激光干涉仪是应用频率变化来测量位移的,这种位移信息载于f1和f2的频差上,对由光强变化引起的直流电平变化不敏感,所以抗干扰能力强。苏州平面度激光干涉仪用户体验可实现90°直角棱镜和角锥测量。
双频激光干涉仪的工作原理:在氦氖激光器上,加上一个约0.03特斯拉的轴向磁场。由于塞曼分裂效应和频率牵引效应,激光器产生1和2两个不同频率的左旋和右旋圆偏振光。经1/4波片后成为两个互相垂直的线偏振光,再经分光镜分为两路。一路经偏振片1后成为含有频率为f1-f2的参考光束。另一路经偏振分光镜后又分为两路:一路成为*含有f1的光束,另一路成为*含有f2的光束。当可动反射镜移动时,含有f2的光束经可动反射镜反射后成为含有f2 ±Δf的光束,Δf是可动反射镜移动时因多普勒效应产生的附加频率,正负号表示移动方向(多普勒效应是奥地利人C.J.多普勒提出的,即波的频率在波源或接受器运动时会产生变化)。
激光干涉仪小科普:两个透明玻璃条的一端夹着纸片,两块玻璃构成一个劈尖,二个表面间形成一层空气薄膜,然后用单色激光从劈尖上方垂直照射,于是下层玻璃的上表面会反射激光,入射光和反射光就会产生干涉现象。现在来观察条纹形状;若干涉条纹是均匀的、平行等间隔的直条纹,则说明两个玻璃片是平行的;若干涉条纹呈现弯曲,则从条纹变异的情况可以推知待测表面偏离平面的情况;还可以测出夹角,测出纸片厚度。光具有三个重要特性:·激光波长非常稳定,可以满足精密测量的要求。·激光波长非常短,可以用于高精度测量。·激光具有干涉特性。 激光干涉仪重复性:λ/50 P。
单频干涉仪能做的双频激光干涉仪都能做,但双频干涉仪能做的单频干涉仪不见得能做。由于历史、技术和商业原因,两种干涉仪都有着广泛应用。但在光刻机上,双频激光干涉仪独占市场。单频干涉仪不需要对市场上的氦氖激光器进行改造,直接可用。但双频激光干涉仪用的激光器需要附加技术使其产生双频(两个频率)。历史上,双频激光干涉仪测量位移的速度不及单频激光干涉仪,自从发明了双折射-塞曼双频激光器,双频激光干涉仪的测量速度也达到每秒几米,与单频激光器看齐了。激光干涉仪:数字化动态分析。江苏角锥测量激光干涉仪性能
超精密机械件检测,光学成像系统和衍射元件检测,纳米器件和MEMS检测,科研和高等教学仪器等众多领域。江苏斐索型激光干涉仪性能
单频激光干涉仪的工作原理:从激光器发出的光束,经扩束准直后由分光镜分为两路,并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。当可动反射镜移动时,干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号,经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数,再由电子计算机按计算式
双频激光干涉仪的工作原理:在氦氖激光器上,加上一个约0.03特斯拉的轴向磁场。由于塞曼分裂效应和频率牵引效应,激光器产生1和2两个不同频率的左旋和右旋圆偏振光。经1/4波片后成为两个互相垂直的线偏振光,再经分光镜分为两路:一路经偏振片1后成为含有频率为f1-f2的参考光束。一路经偏振分光镜后又分为两路:一路成为*含有f1的光束,另一路成为*含有f2的光束。 江苏斐索型激光干涉仪性能
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