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激光干涉仪是精度比较高的线性位移测量仪器，其光波可以直接对米进行定义，苏州光学材质均匀性激光干涉仪性价比，可溯源至国家标准。但是我们在使用中往往会出现检测偏离值，偏离我们的预估，以至于在高精度检测时，对设备产生怀疑。***我们来扒一扒引起激光干涉仪测量误差的部分原因。

1、 阿贝误差：测量光学镜组的安装高度不在被测设备的运动轴上引起的测量误差称之为阿贝误差。产生的原因是设备移动时存在俯仰，苏州光学材质均匀性激光干涉仪性价比、扭摆差，因此光学镜组与运动轴偏置距离越远，苏州光学材质均匀性激光干涉仪性价比，引起的阿贝误差越大。 超精密机械件检测，光学成像系统和衍射元件检测，纳米器件和MEMS检测，科研和高等教学仪器等众多领域。苏州光学材质均匀性激光干涉仪性价比

单频激光干涉仪：从激光器发出的光束，经扩束准直后由分光镜分为两路，并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。当可动反射镜移动时，干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号，经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数，再由电子计算机按计算式[356-11]式中λ为 激光波长(N 为电脉冲总数)，算出可动反射镜的位移量L。使用单频激光干涉仪时，要求周围大气处于稳定状态，各种空气湍流都会引起直流电平变化而影响测量结果。江苏平面相移激光干涉仪性能通用组合水平式检测干涉仪（数字化相移分析系列）是一款高性能模块化组合激光检测干涉仪。

声光频移基于Bragg衍射，为保证激光经多个声波波前反射后实现多光束相干，必需保证:dλ>>Λ2，式中d为声光介质厚度，λ为输入激光波长，Λ为声波波长。从式中可见，由于存在声光介质厚度d，声波频率不可能过低，也即由声光频移产生的双频激光的频差不可能过低，一般在几十MHz到几百MHz，这样对系统的硬件速度又提出了更高的要求。采用声光移频技术，可以使激光干涉议的光学系统**简化，如2束光的频差取决于电路中的晶体振荡器，可以直接在电路中得到，与外差式激光干涉议相比，可以省去一套参考信号的接受光路。此外，由于这样的系统不存在激光干涉仪的定臂，难以用一个激光头来实现角度和直线度测量。

由于双频激光干涉仪是交流系统，具有优异的系统增益和抗干扰能力，不存在直流漂移，所以从1970年HP公司推出***台基于纵向塞曼效应的双频激光干涉仪后，在相当时期内，这种系统垄断了激光干涉仪市场。外差式激光干涉议的测量速度受到两束光的频差大小限制，根据前述的多普勒效应方程式可得到：Δf≈3.3V。在塞曼效应的激光器中，频差高到一定程度，模牵引效应消失，频差也消失。这也是基于塞曼效应效的双频激光干涉议的测量速度难以提高的原因。一般，横向塞曼效应产生激光频差一般在几百kHz以内，纵向塞曼效应产生的激光频差可以达到3.4〜4MHz。激光干涉仪重复性：λ/50 P。

激光具有**度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。常用来测量长度的干涉仪。以激光波长为已知长度、利用迈克耳逊干涉系统(见激光测长技术)测量位移的通用长度测量工具。

激光干涉仪有单频的和双频的两种。单频的是在20世纪60年代中期出现的,**初用于检定基准线纹尺,后又用于在计量室中精密测长。双频激光干涉仪是1970年出现的，它适宜在车间中使用。激光干涉仪在极接近标准状态(温度为20℃、大气压力为101325帕、相对湿度59%、CO2含量0.03%)下的测量精确度很高，可达1×10-7。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作 激光干涉仪测试原理：斐索干涉原理。江苏平面相移激光干涉仪性能

应用领域：计量领域（平面平晶检测），半导体工业（晶片检测），手机工业背板检测。苏州光学材质均匀性激光干涉仪性价比

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