测量位移的干涉仪和测量表面的干涉仪有几个概念的定义比较混乱(特别是有些研究发展趋势的报告),需要注意。一是“激光测距”和“激光测位移”没有界定,资料往往鹿马不分。二是不少资料所说“激光干涉仪”实际上包含两种不同的仪器,一种是测量面型(元件表面)的激光干涉仪,一种是测量位移(长度)的激光干涉仪。如海关的统计和一些年度报告往往混在一起。激光测距机发出的激光束是一个持续时间纳秒的光脉冲,利用光脉冲达到目标和返回的时间之半乘以光速得到距离,完全和光的干涉无关。尽管激光波面干涉仪和测量位移(长度)的干涉仪都是利用光干涉现象,但仪器的设计,苏州光学材质均匀性激光干涉仪应用范围、光路结构,苏州光学材质均匀性激光干涉仪应用范围,苏州光学材质均匀性激光干涉仪应用范围、探测方式、应用场合几乎没有共同之处。样品准直:使用两个光点。苏州光学材质均匀性激光干涉仪应用范围
把一束激光用分光镜分成两路,这两路光是频率相同的,调整两路光的行程差(只是激光波长的一半,很微小),使得这两路光有相位差;它们平行叠加时就产生干涉现象。我们把这种激光设想为正弦波,如下图,当2个频率相同且相差1/4个波长的正弦波叠加时,振幅有的地方变强了(这对应着光的强度变大了,亮些),有的地方变弱了(这对应着光的强度减弱了,暗些);所以,2个亮条纹中心之间的距离表示该激光的1/2个“波长”;只要在1米长的范围内计算有多少个亮条纹,就可以知道此激光的“波长”是多少,从而知道它的“频率”是多少了。江苏光学平行度激光干涉仪产品介绍无应力平面检测干涉仪是一款具有在振动环境下测试能力和共光路特点的费索型激光干涉仪。
计量检测,光学镜片检测、光学组件检测,手机背板和相机镜头检测,半导体晶圆检测,LED衬底蓝宝石检测,安防镜头和车载镜头检测,航空航天成像系统检测,超精密机械件检测,光学成像系统和衍射元件检测,纳米器件和MEMS检测,科研和高等教学仪器等众多领域。平面类(平面平晶、窗口玻璃、光学平面玻璃、金属平面、陶瓷平面等)光滑表面面形测量、一次测量后可同时显示多区域测量结果、光学平行度和材料均匀性的测量,90°直角棱镜和角锥测量;球面类(凸面、凹面、不同F数)光滑表面面形测量;柱面类(凸面、凹面、不同F数)光滑表面面形测量;非球面类(凸面、凹面)光滑表面面形测量;光学组件和系统透射波前精度测量、光学系统的装调和校准等。
干涉仪是很***的一类实验技术的总称, 其思想在于利用波的叠加性来获取波的相位信息, 从而获得实验所关心的物理量。干涉仪并不仅*局限于光干涉仪。 干涉仪在天文学 (Thompson et al, 2001) [1] , 光学, 工程测量, 海洋学, 地震学, 波谱分析, 量子物理实验, 遥感, 雷达等等精密测量领域都有广泛应用(Hariharan, 2007)
具有固定相位差的两列准单色波的叠加将导致振幅发生变化, 从而可以通过测量较容易测量的振幅来获取波的相位信息
干涉仪可以分为单路径干涉仪和多路径干涉仪两类, 其差异在于干涉的波是否通过同一路径传播。 例如迈克尔逊干涉仪就是常见的多路径干涉仪, 而Sagnac干涉仪, 等倾干涉和等厚干涉等即为单路径干涉仪 非球面类(凸面、凹面)光滑表面面形测量。
激光器输出的纵模间隔为:ΔVL=C/(2nL0),式中C为光速,n为激光器腔内折射率,L0为激光器的腔长。选择激光器腔长,使其在多普勒带宽之内主要有二个纵模输出,可得到高频差的双频激光,例如选择腔长220mm,可得到频差为680MHz的双频激光。双纵模激光干涉仪采用等强度的稳频方法,由于频差大,原理上可以达到极高的测量速度,但是高频差也使光电接受、信号处理更为困难。激光干涉仪是以波长作为测量基准的,大频差造成的两束光的波长差别是不能忽略的,可以计算,在频差为680MHz时,可以引起的误差。因此必须确认产生多普勒频移的激光波长作为测量的基准。也由于此,双纵模激光干涉仪也难以应用在角度测量,直线度测量这样的利用差动原理的测量项目。计量检测,光学镜片检测、光学组件检测,手机背板和相机镜头检测。苏州光学材质均匀性激光干涉仪应用范围
航空航天成像系统检测,超精密机械件检测,科研和高等教学仪器等众多领域。苏州光学材质均匀性激光干涉仪应用范围
而双频激光干涉仪正好克服了这一弱点,它是在单频激光干涉仪的基础上发展的一种外差式干涉仪。和单频激光干涉仪一样,双频激光干涉仪也是一种以波长作为标准对被测长度进行度量的仪器,所不同者,一方面是当可动棱镜不动时,前者的干涉信号是介于**亮和**暗之间的某个直流光平,而后者的干涉信号是一个频率约为1.5MHz的交流信号;另一方面,当可动棱镜移动时,前者的干涉信号是在**亮和**暗之间缓慢变化的信号,而后者的干涉信号是使原有的交流信号频率增加或减少了△f,结果依然是一个交流信号。因而对于双频激光干涉仪来说,可用放大倍数较大的交流放大器对干涉信号进行放大,这样,即使光强衰减90%,依然可以得到合适的电信号苏州光学材质均匀性激光干涉仪应用范围
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