江苏平晶检定激光干涉仪概念 苏州千宇光学科技供应

双频激光干涉仪是应用频率变化来测量位移的，这种位移信息载于f1和f2的频差上，江苏平晶检定激光干涉仪概念，对由光强变化引起的直流电平变化不敏感，所以抗干扰能力强。它常用于检定测长机、 三坐标测量机、光刻机和 加工中心等的坐标精度，也可用作测长机、高精度三坐标测量机等的测量系统。利用相应附件，还可进行高精度 直线度测量、平面度测量和小角度测量。

激光干涉仪应用 （1）几何精度检测 可用于检测直线度、垂直度、俯仰与偏摆、平面度、平行度，江苏平晶检定激光干涉仪概念，江苏平晶检定激光干涉仪概念、球面测量、曲率半径测量、角锥角度、光学材质均匀性测量等 应用领域：高精度精密机械（平面元件检测）。江苏平晶检定激光干涉仪概念

激光干涉技术在超精密加工制造，精密定位控制和基础科学测量等领域具有重要价值。目前国际上测量精度比较高的干涉仪就是用于引力波探测的激光干涉仪。叶贤基教授围绕空间引力波探测技术，详细介绍了高精度星间激光干涉测量的基本原理、关键技术及其发展现状。星间激光干涉测量是一种长基线高精度的位移测量方法，当星间距达到十万公里之百万公里时就要求在接收光功率为皮瓦至纳瓦级弱光条件下，实现皮米级位移测量精度。为了实现高精度星间干涉测量，需要发展一系列关键技术，包括星载激光稳频技术、精密相位测量以及弱光锁相技术、星间激光光束指向控制技术。江苏激光干涉仪概念球面类光学元表面光圈、局部形变的测量、球面曲率半径的测量等。

激光干涉仪的应用一般说来，激光干涉仪的主要用途是测量目标的运动状态，即目标的线性位移大小、旋转角度（滚转、俯仰和偏摆）、直线度、垂直度、两个目标在运动的平行性（度）、平面度等。无论光刻机的机台，还是数控机床的导轨（包括激光加工机床），不论是飞行物，还是静止物的热膨胀、变形，一旦需要高精度，都要用激光干涉仪测量，得到目标的运动状态。运动状态由多个参数给出。以光刻机两维运动中的一个方向运动时为例，位移（走过的长度）、机台位移过程中的偏转（角）、俯仰（角）和滚转（角）都需要测出。很多类型的设备需要测量，如各类机床、三坐标测量机、机器人、3D打印设备、自动化设备、线性位移平台、精密机械设备、精密检测仪器等领域的线性测量。

双频激光干涉仪的工作原理：在氦氖激光器上，加上一个约0.03特斯拉的轴向磁场。由于塞曼分裂效应和频率牵引效应，激光器产生1和2两个不同频率的左旋和右旋圆偏振光。经1/4波片后成为两个互相垂直的线偏振光，再经分光镜分为两路。一路经偏振片1后成为含有频率为f1-f2的参考光束。另一路经偏振分光镜后又分为两路：一路成为*含有f1的光束，另一路成为*含有f2的光束。当可动反射镜移动时，含有f2的光束经可动反射镜反射后成为含有f2 ±Δf的光束，Δf是可动反射镜移动时因多普勒效应产生的附加频率，正负号表示移动方向(多普勒效应是奥地利人C.J.多普勒提出的，即波的频率在波源或接受器运动时会产生变化)。超精密机械件检测，光学成像系统和衍射元件检测，纳米器件和MEMS检测，科研和高等教学仪器等众多领域。

温度和空气折射率补偿单元干涉仪测量的目标位移可能长达百米，空气折射率（及改变）和长度的乘积成为激光干涉仪的**主要误差来源之一。用传感器测出温度、气压、湿度，信号处理单元计算出空气折射率引入的假位移，并从结果中扣除。

信号处理单元光电探测器1和2，分别把信号和的光束转化为电信号，±Δf是可动反射镜位移时因多普勒效应产生的附加频率，正负号表示位移的方向。电信号经放大器、整形器后进入减法器相减，输出成为*含有±Δf的电脉冲信号。经可逆计数器计数后，由电子计算机进行当量换算即可得出可动反射镜的位移量。环境温度，气压，湿度引入的折射率变化（假位移）送入计算机计算，并扣除他们的影响。相当多的应用要求计算机和应用系统通讯，实现对加工过程的闭环控制。 激光干涉仪标准平面镜精度：λ/20 PV。江苏平晶检定激光干涉仪概念

通用组合水平式干涉仪具有良好的抗振性能，可以在有空气扰动，轻微振动的环境下检测。江苏平晶检定激光干涉仪概念

基于声光移频的双频激光干涉仪的激光头简图，双纵模稳频的激光器输出激光，由检偏器P抑制一个纵模输出，线偏振的单频激光以Bragg角θ入射到声光频移器，衍射的0级输出保持原频率f1和原方向，1级输出偏转一个(-θ)角，并产生频移，频移后的频率变为f2，此频移(f2-f1)是声光偏转器中的声波频率，也即由晶体振荡器产生的驱动频率。0级光和1级光经过一个双折射棱镜各自按照偏振方向分离，通过一个孔栏A得到了同轴的，具有频差(f2-f1)的，偏振方向相互垂直的双频激光。江苏平晶检定激光干涉仪概念

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