自十九世纪以来,干涉测量技术一直是精密测量领域中的重要技术之一,在精密工业生产加工以及基础科学测量有着广泛应用。近几十年来,江苏通用激光干涉仪应用范围,随着空间科学应用的发展需求,例如空间引力波探测,高精度星间激光测干涉测量技术得到***重视,江苏通用激光干涉仪应用范围。高精度星间激光测距是利用两颗卫星之间的两束或者多束激光进行干涉,通过读取干涉信号的相位信息得到星间距离变化信息,江苏通用激光干涉仪应用范围。基于高精度星载激光稳频、精密相位测量以及弱光锁相技术、星间激光指向控制等技术,可实现皮米级星间位移测量,对空间科学与技术、基础物理实验等研究领域具有重要价值与应用通用组合水平式检测干涉仪(数字化相移分析系列)是一款高性能模块化组合激光检测干涉仪。江苏通用激光干涉仪应用范围
当可动反射镜移动时,含有f2的光束经可动反射镜反射后成为含有f2±Δf的光束,Δf是可动反射镜移动时因多普勒效应产生的附加频率,正负号表示移动方向(多普勒效应是奥地利人C.J.多普勒提出的,即波的频率在波源或接受器运动时会产生变化)。这路光束和由固定反射镜反射回来*含有f1的光的光束经偏振片2后会合成为f1-(f2±Δf)的测量光束。测量光束和上述参考光束经各自的光电转换元件、放大器、整形器后进入减法器相减,输出成为*含有±Δf的电脉冲信号。经可逆计数器计数后,由电子计算机进行当量换算(乘1/2激光波长)后即可得出可动反射镜的位移量。双频激光干涉仪是应用频率变化来测量位移的,这种位移信息载于f1和f2的频差上,对由光强变化引起的直流电平变化不敏感,所以抗干扰能力强。江苏金属平面激光干涉仪型号激光干涉仪标准平面镜精度:λ/20 PV。
激光干涉仪原理——应用何处Ⅰ:位置精度的检测及其自动补偿可检测数控机床定位精度、重复定位精度、微量位移精度等。双轴定位精度的检测及其自动补偿雷尼绍双激光干涉仪系统可同步测量大型龙门移动式数控机床,由双伺服驱动某一轴向运动的定位精度,而且还能通过RS232接口,自动对两轴线性误差分别进行补偿。
数控机床动态性能检测 利用RENISHAW动态特性测量与评估软件,可用激光干涉仪进行机床振动测试与分析(FFT),滚珠丝杠的动态特性分析,伺服驱动系统的响应特性分析,导轨的动态特性(低速爬行)分析等。
几何精度检测可用于检测直线度、垂直度、俯仰与偏摆、平面度、平行度等。总结:激光干涉仪有单频激光干涉仪和双频激光干涉仪两种,其中单频激光干涉仪是通过发射激光束,有固定的波长,折返的激光束将光信号转化为脉冲信号,计算折返的脉冲总数,通过计算得知位移距离,等长度的测量。
双频激光干涉仪是应用频率变化来测量位移的,这种位移信息载于f1和f2的频差上,对由光强变化引起的直流电平变化不敏感,所以抗干扰能力强。它常用于检定测长机、 三坐标测量机、光刻机和 加工中心等的坐标精度,也可用作测长机、高精度三坐标测量机等的测量系统。利用相应附件,还可进行高精度 直线度测量、平面度测量和小角度测量。
激光干涉仪应用 (1)几何精度检测 可用于检测直线度、垂直度、俯仰与偏摆、平面度、平行度、球面测量、曲率半径测量、角锥角度、光学材质均匀性测量等 应用领域:光学加工(窗口玻璃检测)。
激光器发出的光束,经扩束准直后由分光镜分为两路,并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。当可动反射镜移动时,干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号,经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数,再由电子计算机按计算式:式中λ为激光波长(N为电脉冲总数),算出可动反射镜的位移量L。使用单频激光干涉仪时,要求周围大气处于稳定状态,各种空气湍流都会引起直流电平变化而影响测量结果。无应力平面检测干涉仪是一款具有在振动环境下测试能力和共光路特点的费索型激光干涉仪。江苏平面平晶检测激光干涉仪能耗制动
平面平晶、窗口玻璃、光学平面、金属平面、陶瓷平面等光滑表面面形的高精度快速测量。江苏通用激光干涉仪应用范围
国内外单频和双频激光干涉仪的进展及问题多年来,国内外在单频和双频激光干涉仪方面进步不大,特例是双折射-塞曼双频激光器的发明。由于从国外购买的激光器不能产生大间隔的双频光,原有国内双频激光干涉仪的供应商基本停产,以前作为基础研究的双折射-塞曼双频激光器被推到前台。双频激光器是干涉仪的**技术,走在了世界前端,也解决了国内无源的重大难题。业界往往忽略干涉仪的非线性误差很长时期以来,业界认为单频干涉仪没有非线性误差。事实上,德国联邦物理技术研究院(PTB)经严格测试发现,单频干涉仪也存在几纳米的非线性误差,甚至大于10nm。塞曼效应的双频干涉仪也有非线性误差,也是无法消除的。非线性误差发生在半个波长的位移内,即使量程很小也照样存在。对此干涉仪测量的误差,大多使用者是不知情的。江苏通用激光干涉仪应用范围
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