现场高效球面检测干涉仪(数字化相移分析系列)是一种高性能模块化组合检测干涉仪。它采用国内外**的组合式激光干涉模块作为**部件,主要用于检测高精度快速球面和曲率半径球面面形。通过模块化的设计理念,针对不同的光源、镜头口径、成像方式,不仅在测量过程中拆卸方便,也可适用于多种被测面的测量,**降低检测成本。通过慧利仪器**软件,可对被测对象实时采样和分析,并形成2D和3D图形。应用领域:光学镜片检测、光学组件检测,相机镜头检测,安防镜头和车载镜头检测,航空航天成像系统检测,超精密机械件检测,科研和高等教学仪器等众多领域。不同F数的球面类(凸面、凹面)光滑表面面形测量;不同F数的柱面类(凸面、凹面)光滑表面面形测量;非球面类(凸面,江苏激光球面激光干涉仪原理、凹面)光滑表面面形测量;光学组件和系统透射波前精度测量。材料包括各类玻璃、塑料、陶瓷等,江苏激光球面激光干涉仪原理,江苏激光球面激光干涉仪原理,内容包括表面光圈、局部形变的测量、球面曲率半径的测量等。激光干涉仪:数字化动态分析。江苏激光球面激光干涉仪原理
无应力平面检测干涉仪(数字化相移分析系列)是高性能模块化组合检测干涉仪中的一种,它采用国内外**的组合式激光干涉仪作为**部件,主要用于高效检测高精度平面,该产品包括光源、主机、成像以及镜头和相移等四大模块,主要技术指标已达到国际前列水平,采用更加简便操作的俯式测量,其拥有极高的***测量精度PV和***测量重复性RMS,并突破了一等平面平晶限制,且其采样点可达上百万像素,能客观反映被测平面全貌。不仅测量精度高,而且具有极高的测量效率。此款干涉仪可广泛应用高精度光学元件制造、计量检测、生物医学、航空航天、**、微电子、能源等众多领域,具有广阔的市场前景。江苏激光球面激光干涉仪原理一次测量后可同时显示多区域测量结果、光学平行度和材料均匀性的测量, 90°直角棱镜和角锥测量。
声光频移基于Bragg衍射,为保证激光经多个声波波前反射后实现多光束相干,必需保证:dλ>>Λ2,式中d为声光介质厚度,λ为输入激光波长,Λ为声波波长。从式中可见,由于存在声光介质厚度d,声波频率不可能过低,也即由声光频移产生的双频激光的频差不可能过低,一般在几十MHz到几百MHz,这样对系统的硬件速度又提出了更高的要求。采用声光移频技术,可以使激光干涉议的光学系统**简化,如2束光的频差取决于电路中的晶体振荡器,可以直接在电路中得到,与外差式激光干涉议相比,可以省去一套参考信号的接受光路。此外,由于这样的系统不存在激光干涉仪的定臂,难以用一个激光头来实现角度和直线度测量。
由于激光具有极好的时间相干性,其相干距离可以达到数公里,所以自激光问世以来,以激光为光源的激光干涉仪一直被人们所关注,其应用范围不断扩展,激光干涉仪技术也不断发展,出现了各种形式的激光干涉仪。尽管存在各种形式的激光干涉仪,但从原理上讲,可以归结为单频激光干涉仪和外差激光干涉仪两种基本类型。通常用于长度测量的激光干涉仪采用Machelson干涉仪系统,图1为单频激光干涉仪原理示意图,分光镜BS将激光分为2束,一束射向定镜R,另一束射向动镜M,当动镜M移动时,经R和M的反射光在O处汇合产生干涉,由于分光镜金属膜的附加相移性质,光电探测器D1、D2接受的信号相位差为90°,用于计数器的方向辨别。应用领域:大平板显示(平面检测)。
激光干涉仪原理:经可逆计数器计数后,由电子计算机进行当量换算(乘 1/2激光波长)后即可得出可动反射镜的位移量。双频激光干涉仪是应用频率变化来测量位移的,这种位移信息载于f1和f2的频差上,对由光强变化引起的直流电平变化不敏感,所以抗干扰能力强。它常用于检定测长机、三坐标测量机、光刻机和加工中心等的坐标精度,也可用作测长机、高精度三坐标测量机等的测量系统。利用相应附件,还可进行高精度直线度测量、平面度测量和小角度测量。LED工业(蓝宝石衬底检测),数据存储和科研院校教学仪器等多种领域。江苏斐索型激光干涉仪供应商
激光干涉仪测试项目:角锥角度测量。江苏激光球面激光干涉仪原理
为什么要用双频激光干涉仪?单频激光干涉仪是一种直流测量系统,存在较大的零漂;同时由于空气湍流,机床油雾,切削屑等会使光束发生偏移或波面扭曲,导致激光束强度发生变化,就有可能使光电信号低于计数器的触发电平而使计数器停止计数。双频激光干涉仪的信号时交流信号,因而对于双频激光干涉仪来说,可用放大倍数较大的交流放大器对干涉信号进行放大,这样,即使光强衰减90%,依然可以得到合适的电信号。双频激光干涉仪可以在恒温,恒湿,防震的计量室内检定量块,量杆,刻尺和坐标测量机等,也可以在普通车间内为大型机床的刻度进行标定。江苏激光球面激光干涉仪原理
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