江苏球面激光干涉仪 苏州千宇光学科技供应

干涉仪可以分成波前分解和幅度分解两类， 其差异在于是否利用波前上不同位置的子波源形成干涉。干涉仪的应用极为***，主要有如下几方面：长度测量在双光束干涉仪中，若介质折射率均匀且保持恒定，则干涉条纹的移动是由两相干光几何路程之差发生变化所造成，根据条纹的移动数可进行长度的精确比较或***测量。迈克耳孙干涉仪和法布里-珀**涉仪曾被用来以镉红谱线的波长表示国际米，江苏球面激光干涉仪。折射率测定两光束的几何路程保持不变，江苏球面激光干涉仪，介质折射率变化也可导致光程差的改变，江苏球面激光干涉仪，从而引起条纹移动。 应用领域：手机工业（背板检测）。江苏球面激光干涉仪

干涉仪是以激光波长为已知长度、利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量工具。 有单频的和双频的两种。单频的是在20世纪60年代中期出现的，**初用于检定基准线纹尺，后又用于在计量室中精密测长。双频激光干涉仪是1970年出现的，它适宜在车间中使用。激光干涉仪在极接近标准状态(温度为20℃、大气压力为101325帕、相对湿度59%、CO2 含量0.03%)下的测量精确度很高，可达1×10。从激光器发出的光束，经扩束准直后由分光镜分为两路，并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。当可动反射镜移动时，干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电，经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数，再由电子计算机按计算式江苏陶瓷平面激光干涉仪概念激光干涉仪重复性：λ/100 RMS。

单频激光干涉仪的工作原理：从激光器发出的光束，经扩束准直后由分光镜分为两路，并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。当可动反射镜移动时，干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号，经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数，再由电子计算机按计算式

双频激光干涉仪的工作原理：在氦氖激光器上，加上一个约0.03特斯拉的轴向磁场。由于塞曼分裂效应和频率牵引效应，激光器产生1和2两个不同频率的左旋和右旋圆偏振光。经1/4波片后成为两个互相垂直的线偏振光，再经分光镜分为两路：一路经偏振片1后成为含有频率为f1-f2的参考光束。一路经偏振分光镜后又分为两路：一路成为*含有f1的光束，另一路成为*含有f2的光束。

由于双频激光干涉仪是交流系统，具有优异的系统增益和抗干扰能力，不存在直流漂移，所以从1970年HP公司推出***台基于纵向塞曼效应的双频激光干涉仪后，在相当时期内，这种系统垄断了激光干涉仪市场。外差式激光干涉议的测量速度受到两束光的频差大小限制，根据前述的多普勒效应方程式可得到：Δf≈3.3V。在塞曼效应的激光器中，频差高到一定程度，模牵引效应消失，频差也消失。这也是基于塞曼效应效的双频激光干涉议的测量速度难以提高的原因。一般，横向塞曼效应产生激光频差一般在几百kHz以内，纵向塞曼效应产生的激光频差可以达到3.4〜4MHz。不同F数的柱面类（凸面、凹面）光滑表面面形测量。

基于声光移频的双频激光干涉仪的激光头简图，双纵模稳频的激光器输出激光，由检偏器P抑制一个纵模输出，线偏振的单频激光以Bragg角θ入射到声光频移器，衍射的0级输出保持原频率f1和原方向，1级输出偏转一个(-θ)角，并产生频移，频移后的频率变为f2，此频移(f2-f1)是声光偏转器中的声波频率，也即由晶体振荡器产生的驱动频率。0级光和1级光经过一个双折射棱镜各自按照偏振方向分离，通过一个孔栏A得到了同轴的，具有频差(f2-f1)的，偏振方向相互垂直的双频激光。应用领域：计量领域（平面平晶检测），半导体工业（晶片检测），手机工业背板检测。江苏透射波前激光干涉仪

激光干涉仪有： 无应力平面检测干涉仪， 无应力平面检测干涉仪，现场高效球面检测干涉仪。江苏球面激光干涉仪

国内外单频和双频激光干涉仪的进展及问题多年来，国内外在单频和双频激光干涉仪方面进步不大，特例是双折射-塞曼双频激光器的发明。由于从国外购买的激光器不能产生大间隔的双频光，原有国内双频激光干涉仪的供应商基本停产，以前作为基础研究的双折射-塞曼双频激光器被推到前台。双频激光器是干涉仪的**技术，走在了世界前端，也解决了国内无源的重大难题。业界往往忽略干涉仪的非线性误差很长时期以来，业界认为单频干涉仪没有非线性误差。事实上，德国联邦物理技术研究院(PTB)经严格测试发现，单频干涉仪也存在几纳米的非线性误差，甚至大于10nm。塞曼效应的双频干涉仪也有非线性误差，也是无法消除的。非线性误差发生在半个波长的位移内，即使量程很小也照样存在。对此干涉仪测量的误差，大多使用者是不知情的。江苏球面激光干涉仪

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