自十九世纪以来,干涉测量技术一直是精密测量领域中的重要技术之一,在精密工业生产加工以及基础科学测量有着广泛应用。近几十年来,随着空间科学应用的发展需求,例如空间引力波探测,江苏棱镜激光干涉仪销售公司,高精度星间激光测干涉测量技术得到***重视。高精度星间激光测距是利用两颗卫星之间的两束或者多束激光进行干涉,通过读取干涉信号的相位信息得到星间距离变化信息,江苏棱镜激光干涉仪销售公司,江苏棱镜激光干涉仪销售公司。基于高精度星载激光稳频、精密相位测量以及弱光锁相技术、星间激光指向控制等技术,可实现皮米级星间位移测量,对空间科学与技术、基础物理实验等研究领域具有重要价值与应用光学组件和系统透射波前精度测量、光学系统的装调和校准等。江苏棱镜激光干涉仪销售公司
而双频激光干涉仪正好克服了这一弱点,它是在单频激光干涉仪的基础上发展的一种外差式干涉仪。和单频激光干涉仪一样,双频激光干涉仪也是一种以波长作为标准对被测长度进行度量的仪器,所不同者,一方面是当可动棱镜不动时,前者的干涉信号是介于**亮和**暗之间的某个直流光平,而后者的干涉信号是一个频率约为1.5MHz的交流信号;另一方面,当可动棱镜移动时,前者的干涉信号是在**亮和**暗之间缓慢变化的信号,而后者的干涉信号是使原有的交流信号频率增加或减少了△f,结果依然是一个交流信号。因而对于双频激光干涉仪来说,可用放大倍数较大的交流放大器对干涉信号进行放大,这样,即使光强衰减90%,依然可以得到合适的电信号江苏平面相移激光干涉仪用户体验激光干涉仪光源波长:632.8nm。
激光器发出的光束,经扩束准直后由分光镜分为两路,并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。当可动反射镜移动时,干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号,经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数,再由电子计算机按计算式:式中λ为激光波长(N为电脉冲总数),算出可动反射镜的位移量L。使用单频激光干涉仪时,要求周围大气处于稳定状态,各种空气湍流都会引起直流电平变化而影响测量结果。
激光干涉仪测量利用的是迈克尔逊干涉原理:(1)从SJ6000激光干涉仪主机出射的激光束(圆偏振光)通过分光镜后,将分成两束激光(线偏振光);(2)两束激光分别经由角锥反射镜A和角锥反射镜B反射后平行于出射光(红色线条)返回,通过分光镜后进行叠加,由于两束激光频率相同、振动方向相同且相位差恒定,即满足干涉条件;(3)角锥反射镜B每移动半个激光波长的距离,将会产生一次完整的明暗干涉现象。测量距离等于干涉条纹数乘以激光半波长。样品准直:使用两个光点。
激光具有**度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。常用来测量长度的干涉仪。以激光波长为已知长度、利用迈克耳逊干涉系统(见激光测长技术)测量位移的通用长度测量工具。
激光干涉仪有单频的和双频的两种。单频的是在20世纪60年代中期出现的,**初用于检定基准线纹尺,后又用于在计量室中精密测长。双频激光干涉仪是1970年出现的,它适宜在车间中使用。激光干涉仪在极接近标准状态(温度为20℃、大气压力为101325帕、相对湿度59%、CO2含量0.03%)下的测量精确度很高,可达1×10-7。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作,并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。 超精密机械件检测,光学成像系统和衍射元件检测,纳米器件和MEMS检测,科研和高等教学仪器等众多领域。江苏棱镜激光干涉仪销售公司
非球面类(凸面、凹面)光滑表面面形测量。江苏棱镜激光干涉仪销售公司
双频激光干涉仪是应用频率变化来测量位移的,这种位移信息载于f1和f2的频差上,对由光强变化引起的直流电平变化不敏感,所以抗干扰能力强。它常用于检定测长机、 三坐标测量机、光刻机和 加工中心等的坐标精度,也可用作测长机、高精度三坐标测量机等的测量系统。利用相应附件,还可进行高精度 直线度测量、平面度测量和小角度测量。
激光干涉仪应用 (1)几何精度检测 可用于检测直线度、垂直度、俯仰与偏摆、平面度、平行度、球面测量、曲率半径测量、角锥角度、光学材质均匀性测量等 江苏棱镜激光干涉仪销售公司
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