[VIP第1年] 指数:3
把一束激光用分光镜分成两路，这两路光是频率相同的，调整两路光的行程差（只是激光波长的一半，很微小），使得这两路光有相位差；它们平行叠加时就产生干涉现象，苏州平面度激光干涉仪概念。我们把这种激光设想为正弦波，如下图，当2个频率相同且相差1/4个波长的正弦波叠加时，振幅有的地方变强了（这对应着光的强度变大了，苏州平面度激光干涉仪概念，亮些），有的地方变弱了（这对应着光的强度减弱了，苏州平面度激光干涉仪概念，暗些）；所以，2个亮条纹中心之间的距离表示该激光的1/2个“波长”；只要在1米长的范围内计算有多少个亮条纹，就可以知道此激光的“波长”是多少，从而知道它的“频率”是多少了。激光干涉仪有： 无应力平面检测干涉仪， 无应力平面检测干涉仪，现场高效球面检测干涉仪。苏州平面度激光干涉仪概念
而双频激光干涉仪正好克服了这一弱点，它是在单频激光干涉仪的基础上发展的一种外差式干涉仪。和单频激光干涉仪一样，双频激光干涉仪也是一种以波长作为标准对被测长度进行度量的仪器，所不同者，一方面是当可动棱镜不动时，前者的干涉信号是介于**亮和**暗之间的某个直流光平，而后者的干涉信号是一个频率约为1.5MHz的交流信号；另一方面，当可动棱镜移动时，前者的干涉信号是在**亮和**暗之间缓慢变化的信号，而后者的干涉信号是使原有的交流信号频率增加或减少了△f，结果依然是一个交流信号。因而对于双频激光干涉仪来说，可用放大倍数较大的交流放大器对干涉信号进行放大，这样，即使光强衰减90%，依然可以得到合适的电信号苏州平面度激光干涉仪能耗制动通用组合水平式检测干涉仪（数字化相移分析系列）是一款高性能模块化组合激光检测干涉仪。
激光具有**度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。常用来测量长度的干涉仪。以激光波长为已知长度、利用迈克耳逊干涉系统(见激光测长技术)测量位移的通用长度测量工具。
激光干涉仪有单频的和双频的两种。单频的是在20世纪60年代中期出现的,**初用于检定基准线纹尺,后又用于在计量室中精密测长。双频激光干涉仪是1970年出现的，它适宜在车间中使用。激光干涉仪在极接近标准状态(温度为20℃、大气压力为101325帕、相对湿度59%、CO2含量0.03%)下的测量精确度很高，可达1×10-7。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作
激光器输出的纵模间隔为：ΔVL=C/(2nL0)，式中C为光速，n为激光器腔内折射率，L0为激光器的腔长。选择激光器腔长，使其在多普勒带宽之内主要有二个纵模输出，可得到高频差的双频激光，例如选择腔长220mm，可得到频差为680MHz的双频激光。双纵模激光干涉仪采用等强度的稳频方法，由于频差大，原理上可以达到极高的测量速度，但是高频差也使光电接受、信号处理更为困难。激光干涉仪是以波长作为测量基准的，大频差造成的两束光的波长差别是不能忽略的，可以计算，在频差为680MHz时，可以引起的误差。因此必须确认产生多普勒频移的激光波长作为测量的基准。也由于此，双纵模激光干涉仪也难以应用在角度测量，直线度测量这样的利用差动原理的测量项目。激光干涉仪测试项目：球面测量。
温度和空气折射率补偿单元干涉仪测量的目标位移可能长达百米，空气折射率（及改变）和长度的乘积成为激光干涉仪的**主要误差来源之一。用传感器测出温度、气压、湿度，信号处理单元计算出空气折射率引入的假位移，并从结果中扣除。
信号处理单元光电探测器1和2，分别把信号和的光束转化为电信号，±Δf是可动反射镜位移时因多普勒效应产生的附加频率，正负号表示位移的方向。电信号经放大器、整形器后进入减法器相减，输出成为*含有±Δf的电脉冲信号。经可逆计数器计数后，由电子计算机进行当量换算即可得出可动反射镜的位移量。环境温度，气压，湿度引入的折射率变化（假位移）送入计算机计算，并扣除他们的影响。相当多的应用要求计算机和应用系统通讯，实现对加工过程的闭环控制。 激光干涉仪标准平面镜精度：λ/20 PV。江苏平面相移激光干涉仪报价表
激光干涉仪测试项目：平面度。苏州平面度激光干涉仪概念
激光干涉仪单频激光干涉仪 从激光器发出的光束，经扩束准直后由分光镜分为两路，并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。当可动反射镜移动时，干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号，经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数，再由电子计算机按计算式[356-11]式中λ为 激光波长(N 为电脉冲总数)，算出可动反射镜的位移量L。使用单频激光干涉仪时，要求周围大气处于稳定状态，各种空气湍流都会引起直流电平变化而影响测量结果。 苏州平面度激光干涉仪概念
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