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基本上，激光干涉仪都使用氦氖激光器的632.8nm波长的光，橙红灿烂的光束射向远方，发散角可以小到0.1mrad，光束截面的光斑均匀。氦氖激光器还可输出绿光、黄光、红外光，但只有632.8nm波长的光适合作激光干涉仪的光源，苏州球面激光干涉仪概念。其它类型的激光器，如半导体（LD）、固体激光器等的相干等性能都远不及氦氖激光器，研究人员多有尝试，苏州球面激光干涉仪概念，但都没有成功。激光干涉仪有很多应用，但本质都是测量中学课本讲的“位移”，诸多应用都是“位移”的延伸和转化，苏州球面激光干涉仪概念。激光干涉仪有两个主流类型：单频激光干涉仪和双频激光干涉仪。激光干涉仪：数字化相移分析。苏州球面激光干涉仪概念
激光干涉仪原理——应用何处Ⅰ：位置精度的检测及其自动补偿可检测数控机床定位精度、重复定位精度、微量位移精度等。双轴定位精度的检测及其自动补偿雷尼绍双激光干涉仪系统可同步测量大型龙门移动式数控机床，由双伺服驱动某一轴向运动的定位精度，而且还能通过RS232接口，自动对两轴线性误差分别进行补偿。
数控机床动态性能检测 利用RENISHAW动态特性测量与评估软件，可用激光干涉仪进行机床振动测试与分析(FFT)，滚珠丝杠的动态特性分析，伺服驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性(低速爬行)分析等。
几何精度检测可用于检测直线度、垂直度、俯仰与偏摆、平面度、平行度等。总结：激光干涉仪有单频激光干涉仪和双频激光干涉仪两种，其中单频激光干涉仪是通过发射激光束，有固定的波长，折返的激光束将光信号转化为脉冲信号，计算折返的脉冲总数，通过计算得知位移距离，等长度的测量。 江苏陶瓷平面激光干涉仪应用范围光学镜片检测、工业计量检测、光学加工等工业领域对球面面形的检测应用需求。
白光干涉仪是用来测量三维微观形貌的。SuperViewW1白光干涉仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、****、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。
激光干涉仪原理：经可逆计数器计数后，由电子计算机进行当量换算(乘 1/2激光波长)后即可得出可动反射镜的位移量。双频激光干涉仪是应用频率变化来测量位移的，这种位移信息载于f1和f2的频差上，对由光强变化引起的直流电平变化不敏感，所以抗干扰能力强。它常用于检定测长机、三坐标测量机、光刻机和加工中心等的坐标精度，也可用作测长机、高精度三坐标测量机等的测量系统。利用相应附件，还可进行高精度直线度测量、平面度测量和小角度测量。激光干涉仪测试项目：曲率半径测量。
单频干涉仪能做的双频激光干涉仪都能做，但双频干涉仪能做的单频干涉仪不见得能做。由于历史、技术和商业原因，两种干涉仪都有着广泛应用。但在光刻机上，双频激光干涉仪独占市场。单频干涉仪不需要对市场上的氦氖激光器进行改造，直接可用。但双频激光干涉仪用的激光器需要附加技术使其产生双频（两个频率）。历史上，双频激光干涉仪测量位移的速度不及单频激光干涉仪，自从发明了双折射-塞曼双频激光器，双频激光干涉仪的测量速度也达到每秒几米，与单频激光器看齐了。激光干涉仪有： 无应力平面检测干涉仪， 无应力平面检测干涉仪，现场高效球面检测干涉仪。苏州球面激光干涉仪概念
可实现90°直角棱镜和角锥测量。苏州球面激光干涉仪概念
通用组合水平式检测干涉仪（数字化相移分析系列）是一款高性能模块化组合激光检测干涉仪。它依据可模块化组合的设计理念和通过不同的组合模式，灵活地满足不同的检测需求。进而在结构简单、适用于多种被测面的前提下，使用数字化相移分析方法实现高精度、多功能的检测，从而**降低检测成本。此款干涉仪解决了被检测对象的不确定与检测系统相对固定之间的匹配问题，以及由此带来的现有仪器实用性受限问题。它不仅实现了干涉测量技术的更新换代，而且填补了制造业和国家质检部门对高精度平面检测设备需求的空白。苏州球面激光干涉仪概念
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