当可动反射镜移动时,含有f2的光束经可动反射镜反射后成为含有f2±Δf的光束,Δf是可动反射镜移动时因多普勒效应产生的附加频率,正负号表示移动方向(多普勒效应是奥地利人C.J.多普勒提出的,即波的频率在波源或接受器运动时会产生变化)。这路光束和由固定反射镜反射回来*含有f1的光的光束经偏振片2后会合成为f1-(f2±Δf)的测量光束。测量光束和上述参考光束经各自的光电转换元件、放大器、整形器后进入减法器相减,输出成为*含有±Δf的电脉冲信号。经可逆计数器计数后,由电子计算机进行当量换算(乘1/2激光波长)后即可得出可动反射镜的位移量,江苏水平式激光干涉仪。双频激光干涉仪是应用频率变化来测量位移的,江苏水平式激光干涉仪,这种位移信息载于f1和f2的频差上,对由光强变化引起的直流电平变化不敏感,江苏水平式激光干涉仪,所以抗干扰能力强。激光干涉仪测试项目:光学系统透射波前。江苏水平式激光干涉仪
激光器发出的光束,经扩束准直后由分光镜分为两路,并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。当可动反射镜移动时,干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号,经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数,再由电子计算机按计算式:式中λ为激光波长(N为电脉冲总数),算出可动反射镜的位移量L。使用单频激光干涉仪时,要求周围大气处于稳定状态,各种空气湍流都会引起直流电平变化而影响测量结果。江苏水平式激光干涉仪样品准直:使用两个光点。
国内外单频和双频激光干涉仪的进展及问题多年来,国内外在单频和双频激光干涉仪方面进步不大,特例是双折射-塞曼双频激光器的发明。由于从国外购买的激光器不能产生大间隔的双频光,原有国内双频激光干涉仪的供应商基本停产,以前作为基础研究的双折射-塞曼双频激光器被推到前台。双频激光器是干涉仪的**技术,走在了世界前端,也解决了国内无源的重大难题。业界往往忽略干涉仪的非线性误差很长时期以来,业界认为单频干涉仪没有非线性误差。事实上,德国联邦物理技术研究院(PTB)经严格测试发现,单频干涉仪也存在几纳米的非线性误差,甚至大于10nm。塞曼效应的双频干涉仪也有非线性误差,也是无法消除的。非线性误差发生在半个波长的位移内,即使量程很小也照样存在。对此干涉仪测量的误差,大多使用者是不知情的。
双频激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上发展的一种外差式干涉仪。和单频激光干涉仪一样,双频激光干涉仪也是一种以波长作为标准对被测长度进行度量的仪器。双频激光干涉仪可以在恒温,恒湿,防震的计量室内检定量块,量杆,刻尺和坐标测量机等。它既可以对几十米的大量程进行精密测量,也可以对手表零件等微小运动进行精密测量,既可以对几何量如长度、角度.直线度、平行度、平面度、垂直度等进行测量,也可以用于特殊场合,诸如半导体光刻技术的微定位和计算机存储器上记录槽间距的测量等等。激光的出现在世界计量史上具有重大的意义。激光干涉仪测试项目:平行度。
激光干涉仪小科普:两个透明玻璃条的一端夹着纸片,两块玻璃构成一个劈尖,二个表面间形成一层空气薄膜,然后用单色激光从劈尖上方垂直照射,于是下层玻璃的上表面会反射激光,入射光和反射光就会产生干涉现象。现在来观察条纹形状;若干涉条纹是均匀的、平行等间隔的直条纹,则说明两个玻璃片是平行的;若干涉条纹呈现弯曲,则从条纹变异的情况可以推知待测表面偏离平面的情况;还可以测出夹角,测出纸片厚度。光具有三个重要特性:·激光波长非常稳定,可以满足精密测量的要求。·激光波长非常短,可以用于高精度测量。·激光具有干涉特性。 激光干涉仪精密度:λ/65 PV.苏州组合式激光干涉仪能耗制动
应用领域:光学加工(窗口玻璃检测)。江苏水平式激光干涉仪
激光干涉仪工作原理:在氦氖激光器上,加上一个约0.03特斯拉的轴向磁场。由于塞曼分裂效应和频率牵引效应,激光器产生1和2两个不同频率的左旋和右旋圆偏振光。经1/4波片后成为两个互相垂直的线偏振光,再经分光镜分为两路。一路经偏振片1后成为含有频率为f1-f2的参考光束。另一路经偏振分光镜后又分为两路:一路成为*含有f1的光束,另一路成为*含有f2的光束。当可动反射镜移动时,含有f2的光束经可动反射镜反射后成为含有f2 ±Δf的光束,Δf是可动反射镜移动时因多普勒效应产生的附加频率,正负号表示移动方向(多普勒效应是奥地利人C.J.多普勒提出的,即波的频率在波源或接受器运动时会产生变化)。这路光束和由固定反射镜反射回来*含有f1的光的光束经偏振片2后会合成为f1-(f2±Δf)的测量光束。测量光束和上述参考光束经各自的光电转换元件、放大器、整形器后进入减法器相减,输出成为*含有±Δf的电脉冲信号。江苏水平式激光干涉仪
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