而双频激光干涉仪正好克服了这一弱点,它是在单频激光干涉仪的基础上发展的一种外差式干涉仪。和单频激光干涉仪一样,双频激光干涉仪也是一种以波长作为标准对被测长度进行度量的仪器,所不同者,一方面是当可动棱镜不动时,前者的干涉信号是介于**亮和**暗之间的某个直流光平,苏州光学平面激光干涉仪代理品牌,而后者的干涉信号是一个频率约为1.5MHz的交流信号;另一方面,当可动棱镜移动时,前者的干涉信号是在**亮和**暗之间缓慢变化的信号,而后者的干涉信号是使原有的交流信号频率增加或减少了△f,结果依然是一个交流信号。因而对于双频激光干涉仪来说,可用放大倍数较大的交流放大器对干涉信号进行放大,苏州光学平面激光干涉仪代理品牌,这样,即使光强衰减90%,苏州光学平面激光干涉仪代理品牌,依然可以得到合适的电信号光学组件和系统透射波前精度测量、光学系统的装调和校准等。苏州光学平面激光干涉仪代理品牌
激光干涉仪测量利用的是迈克尔逊干涉原理:(1)从SJ6000激光干涉仪主机出射的激光束(圆偏振光)通过分光镜后,将分成两束激光(线偏振光);(2)两束激光分别经由角锥反射镜A和角锥反射镜B反射后平行于出射光(红色线条)返回,通过分光镜后进行叠加,由于两束激光频率相同、振动方向相同且相位差恒定,即满足干涉条件;(3)角锥反射镜B每移动半个激光波长的距离,将会产生一次完整的明暗干涉现象。测量距离等于干涉条纹数乘以激光半波长。江苏通用激光干涉仪供应商家激光干涉仪测试项目:平面度。
当可动反射镜移动时,含有f2的光束经可动反射镜反射后成为含有f2±Δf的光束,Δf是可动反射镜移动时因多普勒效应产生的附加频率,正负号表示移动方向(多普勒效应是奥地利人C.J.多普勒提出的,即波的频率在波源或接受器运动时会产生变化)。这路光束和由固定反射镜反射回来*含有f1的光的光束经偏振片2后会合成为f1-(f2±Δf)的测量光束。测量光束和上述参考光束经各自的光电转换元件、放大器、整形器后进入减法器相减,输出成为*含有±Δf的电脉冲信号。经可逆计数器计数后,由电子计算机进行当量换算(乘1/2激光波长)后即可得出可动反射镜的位移量。双频激光干涉仪是应用频率变化来测量位移的,这种位移信息载于f1和f2的频差上,对由光强变化引起的直流电平变化不敏感,所以抗干扰能力强。
计量检测,光学镜片检测、光学组件检测,手机背板和相机镜头检测,半导体晶圆检测,LED衬底蓝宝石检测,安防镜头和车载镜头检测,航空航天成像系统检测,超精密机械件检测,光学成像系统和衍射元件检测,纳米器件和MEMS检测,科研和高等教学仪器等众多领域。平面类(平面平晶、窗口玻璃、光学平面玻璃、金属平面、陶瓷平面等)光滑表面面形测量、一次测量后可同时显示多区域测量结果、光学平行度和材料均匀性的测量,90°直角棱镜和角锥测量;球面类(凸面、凹面、不同F数)光滑表面面形测量;柱面类(凸面、凹面、不同F数)光滑表面面形测量;非球面类(凸面、凹面)光滑表面面形测量;光学组件和系统透射波前精度测量、光学系统的装调和校准等。覆盖多口径,具备模块化,高精度,高效率,100%无损,抗干扰性能强等特点。
温度和空气折射率补偿单元干涉仪测量的目标位移可能长达百米,空气折射率(及改变)和长度的乘积成为激光干涉仪的**主要误差来源之一。用传感器测出温度、气压、湿度,信号处理单元计算出空气折射率引入的假位移,并从结果中扣除。
信号处理单元光电探测器1和2,分别把信号和的光束转化为电信号,±Δf是可动反射镜位移时因多普勒效应产生的附加频率,正负号表示位移的方向。电信号经放大器、整形器后进入减法器相减,输出成为*含有±Δf的电脉冲信号。经可逆计数器计数后,由电子计算机进行当量换算即可得出可动反射镜的位移量。环境温度,气压,湿度引入的折射率变化(假位移)送入计算机计算,并扣除他们的影响。相当多的应用要求计算机和应用系统通讯,实现对加工过程的闭环控制。 激光干涉仪有: 无应力平面检测干涉仪, 无应力平面检测干涉仪,现场高效球面检测干涉仪。江苏棱镜激光干涉仪方案
激光干涉仪标准平面镜精度:λ/20 PV。苏州光学平面激光干涉仪代理品牌
双频激光干涉仪的工作原理:在氦氖激光器上,加上一个约0.03特斯拉的轴向磁场。由于塞曼分裂效应和频率牵引效应,激光器产生1和2两个不同频率的左旋和右旋圆偏振光。经1/4波片后成为两个互相垂直的线偏振光,再经分光镜分为两路。一路经偏振片1后成为含有频率为f1-f2的参考光束。另一路经偏振分光镜后又分为两路:一路成为*含有f1的光束,另一路成为*含有f2的光束。当可动反射镜移动时,含有f2的光束经可动反射镜反射后成为含有f2 ±Δf的光束,Δf是可动反射镜移动时因多普勒效应产生的附加频率,正负号表示移动方向(多普勒效应是奥地利人C.J.多普勒提出的,即波的频率在波源或接受器运动时会产生变化)。苏州光学平面激光干涉仪代理品牌
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