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面轮廓度和平面度是有质的区别。如果是曲面就不会有求平面度，应该是面轮廓度。就平面而言，面轮廓度和平面度也是有质的区别：平面度不带基准，面轮廓度会会带基准，如果不带基准的面轮廓度，是表示自身变化在一个中心线的下负公差里偏移。平面度就是一个面上报有点在理论高度上的最大值和最小值点的总和。

面轮廓度描述曲面尺寸准确度的主要指标为轮廓度误差，它是指被测实际轮廓相对于理想轮廓的变动情况。面轮廓度是限制实际曲面对理想曲面变动量的一项指标，它是对曲面的形状精度要求。是实际被测要素（轮廓面线要素）对理想轮廓面的允许变动。描述曲面尺寸准确度的主要指标为轮廓度误差，它是指被测实际轮廓相对于理想轮廓的变动情况。平面度是指基片具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差。 上海解决方案扣件一个可以不断自我完善的解决方案，才能真正改善状况，使得它以更高的效率执行。

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7. 开机顺序依次为：打开①电源箱；②总气源；③冷干机；④气阀；⑤控制柜电源；⑥测座控制器；⑦当操作盒灯亮后给电机加电（急停键必须松开）；⑧待系统自检完毕，启动测量软件，三轴归零（回家）“确定”，自动完成后进入正常工作状态。

8. 每次开机后先回机器零点。在回零点前，先将测头移至安全位置，保证测头复位旋转和Z轴向上运动时无障碍。

9. 更换测头时，使用随机提供的独一工具，所使用的测头需要标定：① 在未打开测量软件状态下，更换后开启软件。建议使用此方法。② 在打开测量软件状态下，操作盒需按下急停键开关，更换后开启开关。会出现测头错误信息对话框，关闭即可（或在网址输入栏中输入100.0.0.1，进入Errors History查看错误信息），此信息在下次开机时自动清理。

10. 在手动操作状态下，在接近采点位置时，要按下慢速键。 晶圆测厚仪运用解决方案。上海解决方案用途

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功能原理简单地说，三坐标测量机就是在三个相互垂直的方向上有导向机构、测长元件、数显装置，有一个能够放置工件的工作台(大型和巨型不一定有)，测头可以以手动或机动方式轻快地移动到被测点上，由读数设备和数显装置把被测点的坐标值显示出来的一种测量设备。显然这是较简单、较原始的测量机。有了这种测量机后，在测量容积里任意一点的坐标值都可通过读数装置和数显装置显示出来。测量机的采点发讯装置是测头，在沿X，Y，Z三个轴的方向装有光栅尺和读数头。其测量过程就是当测头接触工件并发出采点信号时，由控制系统去采集当前机床三轴坐标相对于机床原点的坐标值，再由计算机系统对数据进行处理。上海测量解决方案

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