干涉仪维护:1、仪器应妥善地放在干燥、清洁的房间内,防止振动,仪器搬动时,应托住底座,以防导轨变形。2、光学零件不用时,应存放在清洁的干燥盆内,上海激光干涉仪共焦,以防止发霉。反光镜、分光镜一般不允许擦拭,必要擦拭时,须先用备件毛刷小心掸去灰尘,再用脱脂清洁棉花球滴上酒精和yi mi混合液轻拭。3,上海激光干涉仪共焦、传动部件应有良好的润滑。特别是导轨、丝杆、螺母与轴孔部分,应用T5精密仪表油润滑。4、使用时,各调整部位用力要适当,不要强旋、硬扳。5、导轨面丝杆应防止划伤、锈蚀,用毕后,仍保持不失油状态。6、经过精密调整的仪器部件上的螺丝,上海激光干涉仪共焦,都涂有红漆,不要擅自转动。实时通讯接口:HSSL,AquadB和Sin / Cos。上海激光干涉仪共焦
高精度。目前半导体工艺的典型线宽为0.25μm,并正向0.18μm过渡,2009年的预测线宽是0.07μm。如果定位要求占线宽的1/3,那么就要求10nm量级的精度,而且晶片尺寸还在增大,达到300mm。这就意味着测量定位系统的精度要优于3×10的-8次方,相应的激光稳频精度应该是10的-9次方数量级。
高速度。目前加工机械的速度已经提高到1m/sec以上,上世纪80年代以前开发研制的仪器已不适应市场的需求。例如惠普公司的干涉仪市场大部分被英国Renishaw所占领,其原因是后者的速度达到了1m/sec。 上海激光干涉仪表面粗糙度使其可以测量长达40米的距离。
中国机床行业市场萎缩同时又大量进口国外设备的原因之一就是因为这方面的技术没有得到推广应用。为此,需要高速多通道激光干涉仪:其测量速度达60m/min以上,采样速度达5000次/sec以上,以适应热误差和几何误差测量的需要。空气折射率实时测量应达到2×10的-7次方水平,其测量结果和长度测量结果可同步输入计算机。
运行和制造过程的监控和在线检测技术
综合运用图像、频谱、光谱、光纤以及其它光与物质相互作用原理的传感器具有非接触、高灵敏度、高柔性、应用范围广的优点。在这个领域综合创新的天地十分广阔,如振动、粗糙度、污染物、含水量、加工尺寸及相互位置等。
数控转台分度精度的检测:数控转台分度精度的检测及其自动补偿现在,利用ML10激光干涉仪加上RX10转台基准还能进行回转轴的自动测量。它可对任意角度位置,以任意角度间隔进行全自动测量,其精度达±1。新的国际标准已推荐使用该项新技术。它比传统用自准直仪和多面体的方法不仅节约了大量的测量时间,而且还得到完整的回转轴精度曲线,知晓其精度的每一细节,并给出按相关标准处理的统计结果。知晓其精度的每一细节,并给出按相关标准处理的统计结果。激光电流以高频调幅(~MHz)。
按相数分
绝大多数产品是单相的,因为电压互感器容量小,器身体积不大,三相高压套管间的内外绝缘要求难以满足,所以只有3-15kV的产品有时采用三相结构。
按电压变换原理分
电磁式电压互感器:根据电磁感应原理变换电压,原理与基本结构和变压器完全相似,我国多在及以下电压等级采用;电容式电压互感器:由电容分压器、补偿电抗器、中间变压器、阻尼器及载波装置防护间隙等组成,用在中性点接地系统里作电压测量、功率测量、继电防护及载波通讯用;光电式电压互感器:通过光电变换原理以实现电压变换,还在研制中。
按使用条件分
户内型电压互感器:安装在室内配电装置中,一般用在及以下电压等级;户外型电压互感器:安装在户外配电装置中,多用在及以上电压等级。 用于齿轮箱和驱动动力传动系的机械负载测试的运动跟踪。黄浦区激光干涉仪表面粗糙度
我们的技术合作伙伴etalon AG基于IDS3010(做到这一点)。上海激光干涉仪共焦
5 指针不应弯曲,与标度盘表面间的距离要适当。对装有反射镜式读数装置的仪表应不大于(0.02L+1)MM;其余仪表应不大于(0.01L+1)MM。指针与标度尺在同一水平面上的仪表,其指针前列与标度尺边缘的间隙应不超过(0.01L+0.8)MM。其中L 是标度尺长度,MM。刀形和丝形指针的前列至少应盖住标度尺上较短分度线的1/2,矛形指针可为1/2~3/4;
6 检查有无封印,外壳密封是否良好。
三相仪表应在对称电压和平衡负载的条件下检验。三相系统中每一个线电压或相电压以及电流与系统中相应量的平均值之差均不应大于1%。各个相电流与对应相电压的相位差之间的差值不大于2°。 上海激光干涉仪共焦
上海岱珂机电设备有限公司正式组建于2011-11-11,将通过提供以光谱共焦传感器,高精度3D测量系统,涂层厚度检测传感器,同轴激光位移传感器等服务于于一体的组合服务。是具有一定实力的仪器仪表企业之一,主要提供光谱共焦传感器,高精度3D测量系统,涂层厚度检测传感器,同轴激光位移传感器等领域内的产品或服务。随着我们的业务不断扩展,从光谱共焦传感器,高精度3D测量系统,涂层厚度检测传感器,同轴激光位移传感器等到众多其他领域,已经逐步成长为一个独特,且具有活力与创新的企业。值得一提的是,岱珂机电致力于为用户带去更为定向、专业的仪器仪表一体化解决方案,在有效降低用户成本的同时,更能凭借科学的技术让用户极大限度地挖掘岱珂机电的应用潜能。
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