上海激光干涉仪色散共焦 上海岱珂机电设备供应

检验周期规定

A.控制盘和配电盘仪表的定期检验应与该仪表所连接的主要设备的大修日期一致，不应延误。但主要设备主要线路的仪表应每年检验一次，其它盘的仪表每四年至少检验一次；

B.对运行中设备的控制盘仪表的指示发生疑问时，可用标准仪表在其工作点上用比较法进行核对；

C.可携式仪表(包括台表)的检验，上海激光干涉仪色散共焦，每年至少一次，常用的仪表每半年至少一次。经两次以上检验，证明质量好的仪表，可以延长检验期一倍。D.万用电表、钳形表每四年至少检验一次，上海激光干涉仪色散共焦。兆欧表和接地电阻测定器每二年至少检验一次，上海激光干涉仪色散共焦，但用于高压电路使用的钳形表和作吸收比用的兆欧表每年至少检验一次。 探头安装 在线性导轨上，在一个轴上移动探头，而线性导轨则集成在一个桥中。上海激光干涉仪色散共焦

升降变差

1 能耐受机械力作用的仪表、仪表正面部分比较大尺寸小于75MM 的可携式仪表、正面比较大尺寸小于40MM 的安装式仪表、用直流进行检验的电磁系和铁磁电动系仪表，其指示值的升降变差不应超过表7 规定值的1.5 倍。其它仪表的升降变差不应超过表的规定。

2 测定升降变差时，应在极性不变(当用直流检验时)和指示器升降方向不变的前提下，首先使被检表指示器从一个方向平稳地移向标度尺某一个分度线，读取标准表的读数；然后再从另一个方向平稳地移向标度尺的同一个分度线，再次读取标准表的读数，标准表两次读数之差即为升降变差。允许根据被检表读数之差测定升降变差，这时应维持被测量之值不变。测定仪表升降变差时应遵守规定，若被测之量连续可调，可与测定基本误差一同进行。 上海激光干涉仪缺陷检测虽然加速度计可用于测量频率> ~20 Hz @ 10 kHz的镜像虚拟仪。

高精度。目前半导体工艺的典型线宽为0.25μm，并正向0.18μm过渡，2009年的预测线宽是0.07μm。如果定位要求占线宽的1/3，那么就要求10nm量级的精度，而且晶片尺寸还在增大，达到300mm。这就意味着测量定位系统的精度要优于3×10的-8次方，相应的激光稳频精度应该是10的-9次方数量级。

高速度。目前加工机械的速度已经提高到1m/sec以上，上世纪80年代以前开发研制的仪器已不适应市场的需求。例如惠普公司的干涉仪市场大部分被英国Renishaw所占领，其原因是后者的速度达到了1m/sec。

互感器：

电流互感器和电压互感器的统称。

互感器又称为仪用变压器，是电流互感器和电压互感器的统称。能将高电压变成低电压、大电流变成小电流，用于量测或保护系统。其功能主要是将高电压或大电流按比例变换成标准低电压（100V）或标准小电流（5A或1A，均指额定值），以便实现测量仪表、保护设备及自动控制设备的标准化、小型化。同时互感器还可用来隔开高电压系统，以保证人身和设备的安全。

微型电流互感器一次绕组电流I1与二次绕组I2的电流比，叫实际电流比K。微型电流互感器在额定工作电流下工作时的电流比叫电流互感器额定电流比，用Kn表示。Kn=I1n/I2n 环境补偿模块（ECU）。

干涉仪技术参数：5D/6D标准型：1.线性：0.5ppm.2.测量范围：40米（1D可选80米）3.线性分辨力：0.001um.4.偏摆角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%显示较大值5.比较大范围：800角秒6.滚动角精度：1.0角秒7.直线度精度：（1.0+0.2/m）um或1%显示较大值8.直线度比较大范围：500um9.垂直度精度：1角秒10.温度精度：0.2摄氏度11.湿度精度：5%12.压力精度：1mmHg

从激光器发出的光束，经扩束准直后由分光镜分为两路，并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。 用于齿轮箱和驱动动力传动系的机械负载测试的运动跟踪。上海段差激光干涉仪

晶圆表面测量可以在各种各样的目标上进行测量。上海激光干涉仪色散共焦

波长的测量任何一个以波长为单位测量标准米尺的方法也就是以标准米尺为单位来测量波长的方法。以国际米为标准，利用干涉仪可精确测定光波波长。法布里-珀luo gan 涉仪（标准具）曾被用来确定波长的初级标准（镉红谱线波长）和几个次级波长标准，从而通过比较法确定其他光谱线的波长。检验光学元件泰曼干涉仪被普遍用来检验平板、棱镜和透镜等光学元件的质量。在泰曼干涉仪的一个光路中放置待检查的平板或棱镜，平板或棱镜的折射率或几何尺寸的任何不均匀性必将反映到干涉图样上。若在光路中放置透镜，可根据干涉图样了解由透镜造成的波面畸变，从而评估透镜的波像差。上海激光干涉仪色散共焦

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