半导体应变片:用于车辆等机械量测量的元件.半导体应变片是将单晶硅锭切片、研磨、腐蚀压焊引线,安徽激光干涉仪形貌测量,结尾粘贴在锌酚醛树脂或聚酰亚胺的衬底上制成的。是一种利用半导体单晶硅的压阻效应制成的一种敏感元件,安徽激光干涉仪形貌测量。利用半导体单晶硅的压阻效应制成的一种敏感元件,又称半导体应变片。压阻效应是半导体晶体材料在某一方向受力产生变形时材料的电阻率发生变化的现象(见压阻式传感器),安徽激光干涉仪形貌测量。半导体应变片需要粘贴在试件上测量试件应变或粘贴在弹性敏感元件上间接地感受被测外力。超长距离测量,齿轮传动间隙测量。安徽激光干涉仪形貌测量
按相数分
绝大多数产品是单相的,因为电压互感器容量小,器身体积不大,三相高压套管间的内外绝缘要求难以满足,所以只有3-15kV的产品有时采用三相结构。
按电压变换原理分
电磁式电压互感器:根据电磁感应原理变换电压,原理与基本结构和变压器完全相似,我国多在及以下电压等级采用;电容式电压互感器:由电容分压器、补偿电抗器、中间变压器、阻尼器及载波装置防护间隙等组成,用在中性点接地系统里作电压测量、功率测量、继电防护及载波通讯用;光电式电压互感器:通过光电变换原理以实现电压变换,还在研制中。
按使用条件分
户内型电压互感器:安装在室内配电装置中,一般用在及以下电压等级;户外型电压互感器:安装在户外配电装置中,多用在及以上电压等级。 广东电子激光干涉仪基于压电的定位器(顶部)只在x轴上移动(5 nm步长)。
从激光器发出的光束,经扩束准直后由分光镜分为两路,并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。当可动反射镜移动时,干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号,经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数,再由电子计算机按计算式[356-11]式中λ为激光波长(N为电脉冲总数),算出可动反射镜的位移量L。使用单频激光干涉仪时,要求周围大气处于稳定状态,各种空气湍流都会引起直流电平变化而影响测量结果。
高精度。目前半导体工艺的典型线宽为0.25μm,并正向0.18μm过渡,2009年的预测线宽是0.07μm。如果定位要求占线宽的1/3,那么就要求10nm量级的精度,而且晶片尺寸还在增大,达到300mm。这就意味着测量定位系统的精度要优于3×10的-8次方,相应的激光稳频精度应该是10的-9次方数量级。
高速度。目前加工机械的速度已经提高到1m/sec以上,上世纪80年代以前开发研制的仪器已不适应市场的需求。例如惠普公司的干涉仪市场大部分被英国Renishaw所占领,其原因是后者的速度达到了1m/sec。 三坐标测量机和加工中心的校准。
扩散型半导体应变片
这种应变片是将 P型杂质扩散到一个高电阻N型硅基底上,形成一层极薄的P型导电层,然后用超声波或热压焊法焊接引线而制成(图2)。它的优点是稳定性好,机械滞后和蠕变小,电阻温度系数也比一般体型半导体应变片小一个数量级。缺点是由于存在P-N结,当温度升高时,绝缘电阻大为下降。半导体应变片是将单晶硅锭切片、研磨、腐蚀压焊引线,结尾粘贴在锌酚醛树脂或聚酰亚胺的衬底上制成的。是一种利用半导体单晶硅的压阻效应制成的一种敏感元件。新型固态压阻式传感器中的敏感元件硅梁和硅杯等就是用扩散法制成的。 皮 米 精 度 位 移 传 感 器。江苏测量激光干涉仪
三轴机床和坐标测量机的21种可能运动误差的校准,复杂 且实惠。安徽激光干涉仪形貌测量
结构原理:普通电流互感器结构原理:电流互感器的结构较为简单,由相互绝缘的一次绕组、二次绕组、铁心以及构架、壳体、接线端子等组成。其工作原理与变压器基本相同,一次绕组的匝数(N1)较少,直接串联于电源线路中,一次负荷电流(I1)通过一次绕组时,产生的交变磁通感应产生按比例减小的二次电流(I2);二次绕组的匝数(N2)较多,与仪表、继电器、变送器等电流线圈的二次负荷(Z)串联形成闭合回路,由于一次绕组与二次绕组有相等的安培匝数,I1N1=I2N2,电流互感器额定电流比电流互感器实际运行中负荷阻抗很小,二次绕组接近于短路状态,相当于一个短路运行的变压器。安徽激光干涉仪形貌测量
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