场发射扫描电子显微镜（含EDS和EBSD）

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设备名称：场发射扫描电子显微镜（含EDS和EBSD）

规格：Zeiss Merlin Compact

厂家：德国蔡司

ZEISS的MERLIN Compact场发射扫描电镜全部采用新一代镜筒（GEMINI）设计，具有优良

的高、低加速电压性能；创新的InlensDuo探测器设计是目前世界上真正的内置镜筒电子束

光路上的探测器，其具有的灵敏度和接收效率，而且可接收来自样品表面的二次电子和背

散射电子，因此具有业界比较高等级的分辨率和图像质量，试样的工作距离不受背散射探测

器的影响，可以非常接近极靴，这样可以获得高的二次电子像分辨率和背散射电子像分辨率，

且接收的背散射电子的能量可以控制。创造性的采用电磁、静电复合式物镜，杂散磁场小，

可对铁磁体样品进行高分辨率成像。

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